ICP离子源的数学模型
时间: 2023-11-09 11:08:58 浏览: 97
基因工程菌去除镉离子的数学模型研究
ICP离子源的数学模型可以分为两个方面:物理模型和计算模型。
物理模型:
ICP离子源的物理模型是基于等离子体物理学的基本原理建立的。等离子体物理学是研究等离子体物质的性质、行为和相互作用的一门学科。ICP离子源中的等离子体是由高频电场产生的,它可以将气体转化为等离子体。
计算模型:
ICP离子源的计算模型是建立在物理模型的基础上的。它可以通过计算等离子体中的物理参数来预测离子源的性能。其中包括等离子体密度、电子温度、电子密度等参数。通过这些参数的计算,可以预测离子源的离子输出功率、离子束的质量和能量等性能指标。
总之,ICP离子源的数学模型是基于等离子体物理学的基本原理和计算模型的建立,通过计算等离子体中的物理参数来预测离子源的性能。
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