详拆光伏电池片工艺当中的pecvd设备.pdf

PECVD（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition）是一种在制造光伏电池片过程中常用的技术，它通过利用等离子体技术在晶片表面产生化学反应，将有机气体化合物转化为固态硅薄膜。PECDV设备是实现这一技术的关键设备之一。

PECVD设备可以分为两个部分：气体净化系统和气体反应装置。气体净化系统主要对用于反应的气体进行净化和预处理，以保证气体质量可靠，反应物质的稳定性和均匀性。气体反应装置采用高频电场的作用下，将气态反应物转化为等离子体状态，反应物分解后沉积在晶片表面形成薄膜。

PECVD设备内部主要有高频发生器、电极、等离子体室及真空系统等关键部件。高频发生器产生高频电场，将反应气体分解成等离子体态；电极是等离子体的介质体，通过电极对气体形成激励场和均匀的电场分布；等离子体室是气体反应的核心区域，把分解出来的气体化合物附着在晶片表面上形成薄膜；真空系统则必须维护系统中气体的稳定性和循环性。

在光伏电池片工艺当中，PECDV设备是制造硅薄膜必不可少的设备之一。通过PECDV设备的应用，可以大大提高光伏电池片的效率和稳定性，降低生产成本和制造周期，是常用的核心技术之一。