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晶圆刻蚀时的紫外灯有什么作用
晶圆刻蚀时的紫外灯有什么作用
时间: 2024-05-04 16:21:57
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晶圆刻蚀时使用紫外灯的主要作用是去除晶圆表面的有机污染物,以提高刻蚀效率和刻蚀质量。紫外灯能够产生一种紫外线,这种紫外线可以破坏有机物分子的化学键,使得它们分解为小分子,从而被氧化或还原成较简单的化合物,从而减少对刻蚀过程的干扰。此外,紫外灯还可以增强光刻胶的敏化效果,提高图形分辨率,有利于制造高密度集成电路。
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