晶圆刻蚀时的紫外灯有什么作用

晶圆刻蚀时使用紫外灯的主要作用是去除晶圆表面的有机污染物，以提高刻蚀效率和刻蚀质量。紫外灯能够产生一种紫外线，这种紫外线可以破坏有机物分子的化学键，使得它们分解为小分子，从而被氧化或还原成较简单的化合物，从而减少对刻蚀过程的干扰。此外，紫外灯还可以增强光刻胶的敏化效果，提高图形分辨率，有利于制造高密度集成电路。