*** Error: CreateProcess failed, Command: '"D:\Keil_v5\ARM\ARMCLANG\Bin\ArmCC" --via ".\objects\stm32f10x_exti.__i"'

这个错误提示是在使用 Keil MDK 进行编译时出现的。通常情况下，这种错误提示表明编译器无法启动 ArmCC 命令行编译工具，可能是由于以下原因之一引起的：

1. ArmCC 命令行编译工具没有正确安装或安装不完整。
2. 系统环境变量配置不正确，导致无法找到 ArmCC 命令行编译工具。
3. 工程文件配置不正确，导致编译器无法启动 ArmCC 命令行编译工具。

您可以尝试以下步骤来解决这个问题：

1. 确认您已经正确安装了 Keil MDK 并且安装了 ArmCC 命令行编译工具。
2. 检查系统环境变量配置是否正确，特别是 PATH 环境变量中是否包含了 ArmCC 命令行编译工具的安装路径。
3. 检查工程文件中的编译器选项是否正确配置，特别是 ARMCCFLAGS 是否正确设置。

如果您还有其他问题，请告诉我，我将尽力为您解答。