在做srim的时候为什么没有sputering yeild
时间: 2023-10-11 15:02:53 浏览: 71
SRIM中文教程1
在进行Srim(溅射辐照物理模拟)时,没有溅射收率的原因可能有以下几点:
1. 集束效应:Srim模拟通常假设入射粒子以平行束束状形式垂直入射样品表面,而不考虑束束的散射。在实际实验中,集束效应会导致入射粒子的存在角度分布,从而可能影响收到的溅射粒子数目,造成溅射收率偏差。
2. 样品制备:如果样品表面不均匀,例如存在微观凹坑、凸起等不规则结构,入射粒子在击中表面的过程中可能出现偏转或非均匀散射,影响溅射收率的测量。
3. 能损效应:入射粒子与样品原子发生相互作用时,会损失能量并发生散射、反射、俘获等过程。不同能量的粒子对样品原子造成的激发和损伤不同,这可能导致溅射收率的变化。
4. 能量轨迹和距离:入射粒子的能量和轨迹也会影响溅射收率。入射粒子的能量越低、入射角度越偏离垂直,入射粒子的穿透深度就越小,从而溅射收率会受到影响。
总之,Srim模拟是一种描述入射粒子与样品相互作用的物理模型,而实际实验可能存在多种因素影响溅射收率的准确测量。因此,在进行Srim模拟时,我们需要综合考虑各种实验条件和样品特性,以获得更精确的结果。
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