用图示解释说明激光干涉仪的测量原理。

时间: 2024-02-29 18:54:43 浏览: 29
激光干涉仪的测量原理基于激光的干涉现象,其原理示意图如下: ![激光干涉仪的测量原理示意图](https://i.imgur.com/qW7dMkZ.png) 激光光源发出的光经过分束器分成两束光,一束光通过参考光路程反射到光探测器上,另一束光经过待测物体反射到光探测器上。当两束光相遇时,由于相位差的存在,会形成干涉条纹。通过测量干涉条纹的变化,可以计算出待测物体的形变或者位移量。 具体地,当待测物体发生形变或者位移时,两束光的路径长度会发生变化,导致干涉条纹的移动或者变化。通过对干涉条纹的移动或者变化进行测量和分析,可以计算出待测物体的形变或者位移量。由于激光干涉仪具有高精度、高灵敏度和非接触式等优点,因此被广泛应用于各个领域中的精密测量和检测。
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