假如你是个镀膜工艺工程师，请解释一下为什么不同衬底材料对TiO2薄膜的影响不同

TiO2薄膜是一种广泛应用于光电子、光催化等领域的材料，其在不同衬底材料上的生长和性能表现是有差异的。影响这些差异的因素主要包括以下几个方面：

1.晶格匹配度：晶格匹配度是指衬底和薄膜晶格之间的匹配度，通俗地说就是它们的晶体结构是否相似。晶格匹配度越高，则薄膜在衬底上的生长越容易，晶体缺陷也会减少，同时薄膜的性能也会更加稳定。

2.热胀系数：热胀系数是指材料在温度变化时长度或体积的变化率。由于薄膜的生长过程中需要进行高温退火处理，因此衬底的热胀系数也会影响薄膜的生长和性能。当衬底和薄膜的热胀系数不匹配时，薄膜容易出现应力，从而导致晶体缺陷和结构变形。

3.化学惰性：衬底的化学惰性也会影响薄膜的生长和性能。当衬底具有较高的化学惰性时，薄膜的生长会更加稳定，晶体缺陷也会减少。相反，当衬底具有较强的活性时，则容易引入杂质、氧化等问题，从而影响薄膜的性能。

综上所述，不同衬底材料对TiO2薄膜的影响不同，主要是由于衬底材料的晶格匹配度、热胀系数和化学惰性等因素的差异所导致的。因此，在实际工程应用中需要根据具体的需求和条件选择合适的衬底材料。