稀疏矩阵技术在光学元件疵病检测中的应用

"基于稀疏矩阵的光学元件表面疵病检测" 本文主要介绍了一种利用稀疏矩阵技术进行光学元件表面疵病快速检测的新方法。在光学元件检测领域，疵病的精确识别和测量对于保证光学元件的质量至关重要。该方法首先采用环形白光光源照射被测光学元件，通过显微散射暗场成像系统获取高对比度的疵病图像，这些图像在暗背景下突出显示了疵病的细节。 在图像获取阶段，系统对元件的x、y两个方向进行扫描，产生一系列子孔径图像。这些子孔径图像随后通过稀疏矩阵技术进行快速拼接，以构建出完整的全孔径疵病图像。稀疏矩阵在图像处理中起到关键作用，它能有效减少计算复杂性，提高图像拼接的速度和精度。 在疵病识别和分类阶段，研究人员应用了最小外接矩形原理。这一原理可以帮助准确地定位和测量疵病的几何特性，如长度和宽度。实验结果显示，检测到的7个划痕最大长度为15.2110mm，最大宽度为0.0297mm；而5个麻点的最大长度和宽度分别是0.1089mm和0.0967mm。通过比较测量的划痕宽度与标准值，确定了划痕宽度的相对误差范围在-5.00%到5.50%之间，显示出较高的测量精度。 此外，该方法不仅停留在理论研究，还进行了实际光学表面的检测，成功获取了光学元件表面疵病的详细信息。这表明该方法在实际应用中具有可行性，能够为光学元件制造和维护提供有效的质量控制手段。 关键词：测量、疵病检测、显微散射暗场成像、图像拼接、稀疏矩阵、疵病识别。这些关键词涵盖了该研究的核心技术和应用领域，强调了稀疏矩阵在图像处理中的创新应用以及光学元件疵病检测的准确性。