69建立新文件2
执行 + 批处理文件进入 + 交互式图形编辑介面
进入 2*!5,打开预先建立的掩模图形设计环境文件 +@
进入 2*&#建立新创建图形文件的文件名,如 <"<((
注意E建议所有文件名及单元名均采用大写字符
若修改已建立的图形文件 进入 2*,再输入文件名
69'建立新单元
进入 *&#建立新创建图形原始单元名,如 <<((。
4.3.1.3 设定单位
) 进入 !5,*4进行单位设置。
/) 首先确认单位选择 !G+./$H设在内部单位模式。
) 设置 个 + 内部单位等于多少用户设定的单位。
默认值为 !%!/+./$
表示 个 + 内部单位等于 个用户设定的单位。
个 + 内部单位,默认值相当屏幕上 格。
建议设置为 !%!/(((+./$
即设置成 ((( 个 + 内部单位等于 个用户设定的单位。如果需要图
形邻近效应校正,曝光图形需要尺寸再造涨缩,带有斜线或曲线图形一定要
设置成 ((( 个 + 内部单位等于 个用户设定的单位。否则不能进行尺寸
调整或不能保证制版精度甚至出现错位及台阶。
$) 设置数据输出时 用户设定的单位等于多少微米
默认值设置 +./$/
即表示数据输出时 用户设定的单位等于 微米。也就是说设置 (((
格相当于 微米。表示屏幕显示 格等于 纳米,这种设置可保证输出图形
精度。
4.3.1.4 输出倍率设定
如果需要改变输出倍率如I( 倍输出,
可在数据处理完成后存盘前修改为E
+./$(/
即表示数据输出时 用户设定的单位等于 微米。
4.3.1.5 设定显示格栅和显示坐标小数点位置
) 进入 !5,**-$进行屏幕显示格栅设置。
/) 在格栅显示“-$$,4J模块中
设置 ,4$-$=((!%!
屏幕显示 格等于 (( 个 + 内部单位 。
或者“,4$J填充框中填入“(((J+!(标定单位微米)。
) “5,,,3J表示图形缩小到一个格栅只占显示屏幕
个像素时,屏幕上不显示出格栅。
$)在鼠标与格栅关系“ 5$J模块中,选择鼠标指针“5J运动方
式:
选择“,,J鼠标只能停留在规定的格点处,非格点处鼠标停不下来,
为画图提供方便。例如设定“5,(((+!J,鼠标咬住 ( 微
米的格点鼠标在屏幕上是跳动的,即每跳动一格为 ( 微米。
选择“ .!J,则鼠标为连续移动的状态。