亚纳米测量：单频偏振激光干涉仪光路集成技术

"用于纳米测量的单频偏振激光干涉仪的光路集成方法" 本文主要探讨了在纳米测量领域中，如何优化单频偏振激光干涉仪的光路设计和集成技术，以提高其亚纳米级测量分辨率。研究者提出了一种针对正交偏振干涉仪中光学元件定位与性能检测的新方法。该方法旨在实现高精度激光干涉仪的光路系统集成以及性能评估。 他们构建了一个在线检测与评价系统，该系统基于光强检测策略，能够实时监测干涉仪输出的四路偏振光信号强度、干涉条纹的可见度，同时还能评估各路干涉信号之间的正交状态。这一创新使得研究人员能够对小型正交偏振激光干涉仪的光路进行有效的集成。 通过对比实验，作者比较了分立式与集成式干涉仪在稳定性和微弱振动信号测量方面的表现。实验结果显示，采用集成式设计的激光干涉仪具有更高的测量分辨率，达到了10 pm/Hz的水平，其信噪比相比分立式干涉仪提高了10 dB，整体稳定性显著增强。 这一研究对于提升纳米测量的精确度和可靠性具有重要意义，特别是在精密机械、微电子制造、材料科学等领域，高精度的激光干涉仪是不可或缺的工具。集成化的光路设计不仅可以减小设备体积，还能够改善测量性能，有助于推动相关技术的发展。