优化白光干涉测量法：高速稳定性研究

"快速稳定的白光干涉测量法是光学测量技术的一种创新应用，旨在提高测量效率，降低成本。本文主要探讨了一种新的白光干涉测量方法，该方法基于白光干涉显微镜的光学模型，通过对干涉现象的数学建模，揭示了干涉光强函数与包络函数之间的关系。在这一理论基础上，作者提出了一个改进的算法，即利用加大采样间隔的离散采样点进行希尔伯特变换来提取干涉信号的包络，同时分析了合适的采样间隔条件以确保算法的正确执行。 文章指出，实际的白光干涉光强信号常常受到直流(DC)偏置噪声的影响，这会影响测量的稳定性和准确性。为了解决这个问题，研究中采用了中值滤波技术来消除背景噪声，以提高干涉光强包络的质量。通过仿真实验，验证了该算法的有效性，并在实际样品的白光干涉显微镜装置上进行了实验，采集了白光干涉图像。实验结果显示，采用这种快速算法重构三维形貌的速度比传统方法提升了20倍，同时增强了测量的稳定性。 关键词包括测量、白光干涉、三维表面形貌、希尔伯特变换、采样间隔和噪声滤波，这些都体现了文章的核心内容。中图分类号TH744和文献标识码A则表明了该研究属于激光与光学工程领域。" 这篇研究论文详细阐述了白光干涉测量技术的优化，尤其是在提高测量速度和稳定性方面的贡献。希尔伯特变换的应用为快速提取干涉信号提供了新的思路，而中值滤波技术则在处理噪声问题上发挥了重要作用。这些技术的结合使得白光干涉测量不仅在效率上有所提升，而且在处理复杂或有噪声的测量环境时保持了良好的性能，对于光学测量领域具有重要的实践意义。