激光入射角对振镜扫描激光刻蚀质量的关键影响研究

激光入射角对振镜扫描激光刻蚀质量的影响是一篇深入研究了激光加工工艺中关键因素的论文，发表于2014年的《温州大学学报·自然科学版》。论文探讨了当激光束以非垂直角度（即入射角）照射在工件表面时，如何影响光斑的形状和尺寸，进而影响刻蚀的质量。研究者通过构建加工焦深限制范围内的倾斜平面模型，模拟实际工件表面的微观不平坦性。 作者发现，随着激光束入射角增大，光斑畸变的程度也随之增加。这会导致振镜在进行水平路径扫描时，产生的刻蚀线宽度会大于垂直路径，线长则小于垂直路径。这种差异反映了激光能量分布的不均匀性，可能会影响刻蚀的深度和精度。在竖直路径的刻蚀中，由于激光照射的时间更长，物质蒸发和重熔的过程更加充分，因此刻槽更深，金属重铸层更厚，且侧壁和底部的形貌更加平整光滑。 论文的关键概念包括振镜扫描技术，这是一种高精度的激光刻蚀方法，通过快速移动平面镜聚焦激光，适用于精细微结构的制造。焦深，即激光焦点前后能保持清晰图像的距离，对加工效果至关重要。在特定的焦深范围内，入射角的调整对刻蚀质量的影响是显著的，特别是对于那些要求极高精度和深度控制的应用。 总结来说，这篇论文为理解并优化激光振镜扫描刻蚀过程中的参数选择提供了重要的理论依据，这对于提高激光加工的精度和效率，特别是在处理复杂形状和材料特性工件时，具有实际的工程价值。