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应用光学
J.
Applíed
Optícs
]uly.2004.25(4)
,
51
一
55
•
51
•
文章编号:
1002-
2082(2004)04-
0051-05
光学薄膜的误差、允差分析及
生产过程中的计算机控制
友志林,薛亦渝,张幼眩,刘主华
(武汉理工大学材料学院.湖北武汉
430070)
摘
要:
指出实际生产出的薄膜的光学特性和理论计算得到的光学特性常常存在差别的原因.诸如理论模型假
设时,告略一些因素引起的差别,薄膜久望重引起的薄膜结构改变或吸潮、污染等.以及制造过程中造成的误差〈光学
监控系统引起的薄摸厚度和折射率的误差)。针对各种误差的来源提出了格成的改善方法。通过对光学监控系统
引起的薄膜厚度和折射率的误蓬进行分衍,提出膜系的允辈辈分析.尽最减小由于监控设备引起的误差。最后介绍
了实际生产过程中计算机的优化患路。
关键谣:
薄膜§误差$灵敏度
g
允差
5
监控
南部分类哥哥
:0484.4+
1
;丁
P39
1.
9
文献标识码,
B
Analysis of
Error
Sensitivity and Allowable
Error
of Optical Film,
and Computer Controll in Production
XIA
Zhi-lin.
XUE
Yi-yu
,
ZHANG
You-li
吨,
Ll
U
Wei-hu
吕
(Wuhan
University
of
Technology.
Wuhan
430070
,
China)
Abstr
撞
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,丁
here
ís a
distinction
between
the
filrn
optical
characteristíc
calculated
in
theory
and
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optical
characteristic
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aríng
ín
actual
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It
can
be
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by
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such
as
the
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theoretical
rnodel ,
the
structural
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when
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filrn
is
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long
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and
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x
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key
to
filrn
preparatíon.
In
this
paper.
we
analyz
时
the
error
of
filrn
thickness
and
refractíve
índex
caused
by
the
optical
control
systern.
and
also
analysed
the
allowable
error.
In
the
end.
we
put
forward
the
thought
of
cornputer
real tirne
optirnization.
Keywords
,
Filrn;
error;
sensitivity;
allowabl
芒
error;
cornputer
controll
引富
光学薄摆在现代工业及日常生治中有辛苦极其广
泛的应用,可以制做成增透膜.局提膜.浦光膜,分光
膜,锦振及消振膜等光学元件。光学薄膜覆盖的光谱
班回也从可克光区扩展到远在外区相软
X
射接
应
[2
二。如今计算税模拟越来越挺起人们的重视,它可
以在实'陈生产之能模拟实际情挠,了解可能出现的
结果,旗防意怒不到的问题.降{究工作难度
o
由于各光学薄攘的制备过程千楚万别,各种工
艺因素对膜层的折射率和厚度的精度的影响极其
收稿囚黯
:2003
一
04
…
30;
修改稿收到日期
:2003
…
07
一
12
复杂,回此建立一个能对各种工艺的每个误靠进行
分析的计算机程序有很大的困难。这些因素的影蜗
最终都反映到薄膜的折射率和厚度的关系上.回此
本文仅分析它们的关系。
1
误差灵敏度分析
误整灵敏度可用来考察膜系的光谱特性对各
摸层光学津度或折射率的影响.即报
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r)
或
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,
此处
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口
1
,
2
,….是
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宜于它前分析可以用
来指导实际镀震生产:在知道膜系中嘟居膜对膜系
作者简介:夏志林(1
978
一)
.另.江算东台人.武汉理工大学硕士.主要从事光学薄膜研究
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