SiOx纳米线力学性能研究：原位SEM/SPM测试

"氧化硅纳米线原位力学性能测试——张长辉、张跃飞等人的一篇首发论文，探讨了SiOx纳米线的力学性质，利用SEM/SPM联合测试系统进行原位压痕实验，研究其硬度变化。" 这篇论文主要关注的是氧化硅纳米线（SiOx纳米线）的力学性能，这是由于这种材料因其优秀的电绝缘性和光致发光特性，在电子和光电子领域具有巨大的应用潜力。研究人员张长辉、张跃飞等运用了一种实验室自制的扫描电子显微镜/扫描探针显微镜联合测试系统（SEM/SPM hybrid system）来对SiOx纳米线进行原位压痕实验，以深入理解其内在的力学行为。 原位压痕实验是一种在微观尺度上直接测试材料硬度和弹塑性变形的方法，通过在材料表面施加局部压力并观察形变情况，可以获取材料的局部力学性质。在这项研究中，研究人员发现SiOx纳米线的硬度值略低于其体材料的硬度，并且随着压痕深度的增加，硬度呈现下降的趋势。这一现象可能与纳米尺度下材料的表面效应、尺寸效应以及应变硬化或软化机制有关。 文章指出，这样的研究对于理解和优化纳米材料在实际应用中的性能至关重要，特别是在纳米电子器件和光学组件的设计中，了解材料的微观力学性能是必不可少的。此外，通过SEM和SPM的联合测试，不仅可以获取纳米线的静态力学性能，还能研究其动态响应，如蠕变、疲劳等，这为纳米尺度材料的力学模型建立提供了实验依据。 关键词包括：SiOx纳米线、SEM/SPM联合测试系统、原位压痕实验以及硬度。这些关键词揭示了研究的核心内容和方法，对于进一步研究纳米材料力学性能的学者有着重要的参考价值。 该研究得到了高等学校博士学科点专项科研基金和北京市教委科技发展计划重点项目的资助，表明了学术界对此类基础科学研究的重视和支持。同时，作者简介中提到的研究方向和主要研究人员的背景，揭示了他们在纳米材料力学性能领域的专业研究方向和深厚的专业背景。 这篇论文提供了一个深入研究纳米材料力学性能的实例，对于推动纳米科技的发展，尤其是在SiOx纳米线应用的优化和新功能开发方面，具有积极的意义。