Sentaurus TCAD工具使用入门教程

"Sentaurus中文基础教程" Sentaurus是Synopsys公司开发的一套全面的半导体器件及工艺模拟软件工具，广泛应用于微电子、光电子以及纳米电子技术领域。本教程针对Sentaurus的基础知识进行讲解，旨在帮助初学者快速掌握该软件的使用。 首先，Sentaurus TCAD（Technology Computer-Aided Design）是一个集成化的平台，它包含了多个子工具，用于解决半导体工艺和器件模拟的各种问题。在介绍中，我们看到Sentaurus Workbench作为核心工作环境，它是整个工具集的入口，提供了一个统一的图形用户界面（GUI），方便用户管理和执行模拟流程。 Sentaurus Workbench（SWB）是用户与Sentaurus交互的主要界面，它支持创建、运行和分析复杂的工艺和器件模型。用户可以在这里启动和管理不同的模拟工具，如Ligament、Sentaurus Process、Sentaurus Structure Editor (SDE)等。Sentaurus Process专注于模拟半导体制造过程，而SDE则是一个强大的版图编辑器，用于构建和修改器件结构。 Ligament是Sentaurus中的一个关键组件，它主要负责工艺流程的编排和管理。Ligament流程编辑器允许用户创建、编辑和优化工艺流程，包括设置参数、调用宏以及进行语法检查。Ligament版图编辑器则提供了版图设计和编辑功能，支持定义模拟区域，并能保存和加载版图数据。 教程中还提到了Sentaurus Device，这是一个专门用于器件性能模拟的工具，可以模拟晶体管、二极管等各种半导体器件的电气特性。Tecplot SV则是用于结果可视化和数据分析的软件，Inspect工具则用于深入检查和分析模拟结果。最后，Calibration Kit是用于校准模型参数的工具，确保模拟结果与实验数据的吻合度。 在实际操作部分，教程涵盖了从启动Sentaurus Workbench，加载和运行工程，到创建新工程、设置工具流、组装多个实验的全过程。此外，还详细讲解了如何在Ligament中进行流程编辑和版图编辑，以及如何在Sentaurus Workbench中运行Ligament并导入其文件。 通过本教程的学习，读者将能够熟练掌握Sentaurus的基本操作，包括使用Sentaurus Workbench进行工程管理，利用Ligament构建工艺流程，以及运用其他Sentaurus工具进行器件模拟和结果分析。这对于半导体工程师来说是非常重要的技能，有助于他们在科研或工业界进行高效、精确的器件设计和工艺开发。