最小二乘迭代法在多表面干涉条纹分析中的应用

"基于最小二乘迭代的多表面干涉条纹分析" 本文主要探讨了一种用于精确测量透射平行平板的新型方法——基于最小二乘迭代的多表面干涉条纹分析技术。在光学测量领域，尤其是对平行平板的面形和厚度变化进行高精度评估时，这种方法显得尤为重要。传统的方法可能会因为相移值的微小偏差导致测量误差，而该文提出的算法则通过最小二乘迭代法有效地解决了这一问题。 最小二乘迭代是一种优化算法，它通过不断调整参数以最小化误差平方和，从而逼近真实解。在本文中，这个方法被应用于相位恢复，即从双表面干涉条纹中提取实际的相移值。由于平行平板具有两个相互平行的表面，因此会产生双表面干涉现象，通过分析这些干涉条纹，可以获取平板前后表面的信息。 文中提到，该算法依据波长调谐相移的原理，这意味着通过改变光源的波长，可以获取不同相位差对应的干涉条纹，进一步通过迭代计算得出精确的相位信息。在模拟计算中，即使相移值存在小于0.2 rad的微小偏差，经过10次迭代后，所求相位的峰值（PV）误差仅为0.005 rad，均方根（RMS）误差为0.002 rad，显著优于Okada算法，其PV误差和RMS误差分别为0.512 rad和0.103 rad。 实验结果显示，这种基于最小二乘迭代的多表面干涉条纹分析方法具有很高的精度和稳定性，验证了其在实际应用中的有效性。该算法的提出对于提升透射平行平板的测量精度，尤其是在精密光学工程、光学制造和检测等领域，具有重要的理论和实践意义。 关键词涵盖的领域包括测量与计量、干涉测量、最小二乘迭代、多表面干涉条纹以及平行平板，表明这篇文章是针对这些特定技术领域的专业研究。中图分类号和文献标识码则分别提供了文章在图书馆分类系统中的位置和学术认可度的标识。文章的作者们来自于成都精密光学工程研究中心，这进一步强调了他们在这个专业领域的权威性和实践经验。 这篇研究展示了如何利用最小二乘迭代法改进多表面干涉条纹的分析，从而提高透射平行平板的测量精度。这一创新技术对于推动光学测量技术的发展，特别是对于需要高精度测量的工业应用，具有重要的价值。