最小二乘迭代多光束相移干涉测量法

"基于最小二乘迭代的多光束相移算法" 这篇论文主要探讨了在干涉测量领域中，如何解决高阶谐波和随机相移误差对测量精度的影响。作者提出了一种新的多光束干涉条纹分析方法，该方法基于最小二乘迭代原理。在传统的干涉测量中，这些误差常常导致测量结果的不准确。通过对多光束干涉条纹进行傅里叶级数展开，将条纹表示为基波和不同阶谐波的组合，该方法能够更精确地计算出相移值和相位分布。 关键在于，这个算法只需要5帧随机相移的多光束干涉条纹作为输入，通过最小二乘迭代法进行处理。在模拟计算中，当测试表面的反射系数小于0.6且随机相移误差的均方根小于1时，经过10次迭代运算，就能够将误差控制在0.005 PV（峰值到谷值）和0.003 RMS（均方根）rad以内，显著提高了测量精度，优于传统的五步相移算法。 实验结果进一步证实了这种方法的有效性，表明其在实际应用中相比于双光束相移算法更具优势。这种基于最小二乘迭代的多光束相移算法对于提升干涉测量的精度，尤其是在面对高阶谐波和随机相移误差时，具有重要的理论价值和实践意义。它为干涉测量技术提供了一种更为可靠和精确的解决方案，特别是在精密光学、材料科学、微纳米技术等领域有着广阔的应用前景。