激光干涉法测量量块尺寸的精度优化策略

本文主要探讨了在计量型坐标测量机中，量块支撑与安装方式对测量精度产生的影响，特别是对于那些线性测量精度达到0.6微米+1000/L的高精度设备，量块的安装姿态对其校准结果具有显著影响。作者黄雷、马宏和徐文慧针对这一问题，研究了一种利用激光干涉测量方法来精确测量量块尺寸的方法。 他们采用单频激光干涉仪作为测量工具，结合专用的变形量测量系统，系统地考察了量块在不同支撑位置下的中心长度变化。传统的安装方式可能导致量块在受力或温度变化时发生形变，从而影响测量结果的准确性。因此，研究团队提出了采用多点支撑策略，通过分散支撑点来减小量块长度的变化量，以此提高测量的稳定性。 实验结果显示，通过多点支撑法，测量到的量块最大变形量仅为+0.21微米，这表明这种方法能够有效地控制量块的变形。接着，作者进一步分析了测量结果的不确定度，包括坐标测量机尺寸测量示值误差，经过重新计算，标准不确定度降低到了0.75微米。这一改进显著提高了测量精度，对于保证计量设备的高精度至关重要。 论文的关键点在于计量学、激光干涉技术的应用，以及如何通过优化量块支撑设计来提升坐标测量机的测量精度。这项研究对于精密测量领域，特别是在高精度测量设备的校准和维护方面，提供了实用的解决方案。同时，它也展示了激光干涉测量作为一种高精度测量手段在实际应用中的价值，尤其是在需要极低误差级别的场合。