MATLAB与非球面轮廓仪联合检测Q-Type非球面技术

9 下载量 135 浏览量 更新于2024-08-29 1 收藏 4.58MB PDF 举报
"基于MATLAB与非球面轮廓仪的Q-Type非球面检测技术" 在光学系统设计中,Q-Type非球面由于其独特的光学性能而被广泛应用。然而,对于这种超精密加工部件的面形检测,通常需要高精度的测量方法。本文介绍了一种结合MATLAB软件和Taylor Hobson PGI-1240非球面轮廓仪的检测技术,以解决Q-Type非球面的检测问题。 MATLAB是一种强大的数学计算和数据分析环境,它在处理复杂的数值计算和信号处理任务时表现出色。在本文的检测方法中,MATLAB用于处理和分析由非球面轮廓仪收集的数据,实现对非球面形状的精确建模和误差分析。 Taylor Hobson PGI-1240非球面轮廓仪是一种专门用于测量非球面形状的精密设备,能提供高分辨率的表面形貌数据。当与MATLAB结合使用时,该轮廓仪可以提供更深入的面形误差分析,确保检测结果的准确性。 文章提到,通过Nanoform 700 Ultra单点金刚石超精密车床加工的Q-Type非球面样品,其全口径为11.8 mm。检测结果显示,该非球面的面形误差峰谷(PV)值为0.1963 μm,表面粗糙度方均根(RMS)值为0.03412 μm,这两个参数都远优于加工的第一阶段要求,即面形误差PV值小于0.2 μm和表面粗糙度RMS值小于0.04 μm。 这种方法的优势在于,它能够精确地获取工件的面形误差,为后续的车削加工提供重要的参考数据。这对于保证非球面光学组件的最终性能至关重要,因为任何微小的形状偏差都可能影响光学系统的整体性能。 关键词如“测量”,“Q-Type非球面”,“MATLAB”,“非球面轮廓仪”和“单点金刚石车削”等,突出了该技术涉及的核心概念。这一检测技术不仅适用于Q-Type非球面,也对其他类型的非球面光学元件的高精度检测具有参考价值。 这项工作展示了MATLAB软件与非球面轮廓仪集成应用在超精密光学制造中的潜力,为提升Q-Type非球面的加工质量提供了有力的技术支持。这种方法的实施有助于推动光学制造领域的技术进步,确保光学系统的高效率和稳定性。