分束棱镜移动法测量扫描干涉场曝光系统干涉条纹周期

"本文介绍了在扫描干涉场曝光系统中精确测量干涉条纹周期的方法，包括分束棱镜移动测量和小行程高精度位移台辅助测量技术。这些方法旨在提高相位锁定系统的性能，并通过实验验证了其有效性。" 在扫描干涉场曝光系统中，干涉条纹的周期是一个关键参数，它直接影响到相位锁定的精度和系统的工作效率。为确保精确测量这一参数，研究人员提出了一种基于分束棱镜移动的测量方法。此方法利用扫描干涉场曝光系统的特性，通过移动分束棱镜来改变光束的相对相位，从而观察干涉条纹的变化。根据高斯光束传播理论，可以分析这种方法的理论误差，确保测量的准确性。 为了进一步提高测量精度，同时降低对二维工作台运动稳定性的要求，文章还引入了小行程高精度位移台辅助测量周期的技术。这种技术利用小范围但极高精度的位移台调整分束棱镜的位置，以更精确地捕捉干涉条纹的周期变化。通过对干涉条纹线密度为1800 line/mm的系统进行实验，结果显示，小行程位移台辅助周期测量的重复性达到了1.08×10^-5(σ值)，表现出极高的稳定性。 此外，文章采用周期计数法处理测量数据，通过对干涉条纹的计数和统计，可以得到更加准确的周期信息。曝光实验的实际测量值与理论模型之间的一致性良好，这进一步证实了所提出的周期测量方法的可行性与可靠性。 关键词：光栅、扫描干涉场曝光系统、干涉条纹周期测量、相位锁定。这一研究不仅为扫描干涉场曝光系统的优化提供了理论依据，也为相关领域的精密测量技术开辟了新的思路。 中图分类号：O436.1，文献标识码：A，doi:10.3788/AOS201535.0705001。这项工作在光学和精密测量领域具有重要的科学价值和实际应用前景。