第 27 卷 第 11 期
2014 年 11 月
传 感 技 术 学 报
CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACTUATORS
Vol 27 No 11
Nov. 2014
项目来源:高等学校博士学科点专项科研基金(20126102110031)
收稿日期:2014
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07
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09 修改日期:2014
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09
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Study of Low Power Technology of Micro Fluxgate Sensor Based on Porous Core
∗
LÜ Hui
1ꎬ2
ꎬLIU Shibin
1∗
(1 School of Electronics and InformationꎬNorthwestern Polytechnical UniversityꎬXi’an 710129ꎬChinaꎻ
2 Electrical Engineering and Automation instituteꎬHenan Polytechnic UniversityꎬJiaozuo Henan 454000ꎬChina)
Abstract:The power consumption of fluxgate is mainly determined by its optimum excitation current(OEC) . The
porous structure core can decrease OEC and lower power consumption of fluxgate. We analyzed and designed a mi ̄
cro fluxgate with porous coreꎬand then derived an equation to describe the relationship between OEC and the porous
structure. Based on Magnet software and FEM analysisꎬthe effects of porous core have been simulated and analyzedꎬ
and compared with the experimental results. The results confirm the validity of the equation. The improvement sug ̄
gestions for the process are put forwardꎬwhich can provide reference for the perfection of the low power technology
and redesign of the micro fluxgate sensor.
Key words:MEMSꎻfluxgateꎻlow powerꎻFEM
EEACC:7310Lꎻ3120D doi:10.3969 / j.issn.1004
-
1699.2014.11.013
基于多孔铁芯的微型磁通门低功耗技术研究
∗
吕 辉
1ꎬ2
ꎬ刘诗斌
1∗
(1 西北工业大学电子信息学院ꎬ西安 710129ꎻ2 河南理工大学电气工程与自动化学院ꎬ河南 焦作 454000)
摘 要:
微型磁通门的功耗主要由最佳激励电流决定ꎬ多孔结构铁芯能够减小微型磁通门传感器的最佳激励电流ꎬ从而有效
降低功耗ꎮ 采用 Magnet 有限元仿真软件ꎬ建模分析多孔结构铁芯对微型磁通门最佳激励电流的影响ꎬ并总结了相关规律ꎬ结
合 MEMS 的工艺ꎬ对孔的尺寸做出了设计ꎮ 将实测结果和仿真结果进行对比ꎬ验证了这一规律的有效性ꎬ从而能够较好的估
算孔的尺寸对最佳激励电流的影响ꎬ为模型的进一步完善和微型磁通门的结构设计提供理论和实验依据ꎮ
关键词:
MEMSꎻ磁通门ꎻ低功耗ꎻ有限元法
中图分类号:TP212.1 文献标识码:A 文章编号:1004
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1699(2014)11
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1512
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05
磁通门传感器是一种具有高精度、高稳定性的弱
磁场测量器件
[1]
ꎬ在航空航天、地球物理、安检、医疗
设备等领域有着广泛的应用ꎮ 传统磁通门普遍存在
尺寸大、功耗高的缺点ꎬ近年来ꎬ随着 MEMS(Micro E ̄
lectro ̄Mechanical Systems)技术的不断发展ꎬ硅基微型
磁通门已经大大缩减了器件尺寸ꎬ但受限于饱和激励
的工作方式ꎬ功耗并没有随着尺寸的减小而显著降
低ꎬ相反由于释放出的热量集中在很小的范围内ꎬ从
而使微型磁通门的散热问题面临严峻挑战ꎬ直接威胁
到整个系统的热稳定性ꎮ 因此降低硅基微型磁通门
的功耗ꎬ是目前亟待解决的问题
[2]
ꎮ
传统磁通门降低功耗的方法在应用于微型磁通
门时存在着诸多问题ꎮ 比如 Kubik J
[3]
ꎬRipka P
[4]
ꎬ
Drljaca P M
[5]
等人研究了磁通门的脉冲激励技术ꎬ
这一方法会造成灵敏度降低和噪声增大的问题ꎬ同
时容易对微型磁通门所在片上系统的电磁兼容性构
成威胁ꎮ 采用激励调谐方法可在不增大剩磁误差的
同时有效地降低传统结构磁通门的功耗ꎬ但是由于
微型磁通门较大的线圈电阻和平面结构使调谐过程
非常困难
[6
-
7]
ꎮ RTD( Residence Times Difference) 磁
通门可以在降低功耗的同时提高灵敏度ꎬ但是会造
成剩磁误差增大ꎬ同时由于灵敏度和激励频率成反
比关 系ꎬ 使 得 这 种 磁 通 门 的 应 用 被 局 限 在 低 频
范围
[8
-
9]
ꎮ
由于传统磁通门的低功耗技术无法有效移植到
微型磁通门当中来ꎬ必须在微型磁通门结构设计上
发掘降低功耗的方法ꎮ 本文建模分析了多孔结构闭
磁路铁芯对器件功耗的影响ꎬ讨论了多孔结构的可
能影响因素ꎬ结合制备工艺ꎬ提出了孔的尺寸设计方
案ꎬ通过将实测结果与仿真结果进行比较ꎬ验证了计
算公式的有效性ꎬ为微磁通门传感器的模型完善及
加工工艺提供了理论及实验依据ꎮ