半导体设备国产化突破：0-1征程与关键设备市场分析

本篇行业深度报告聚焦于半导体设备中的关键部分——量测与检测设备，它们在集成电路制造过程中扮演着至关重要的角色。这些设备负责监控、识别和定位工艺缺陷，通过确保晶圆厂的高效生产和产品质量，对行业的竞争力起着决定性作用。量测设备与检测设备的市场分别占据63%和34%，其中光学检测为主要技术路径，占据超过80%的份额。 全球市场中，美国科磊半导体（KLA）主导了量测与检测设备市场，其市占率达到54%，而美国三大巨头（科磊、应用材料、创新科技）几乎占据了70%的市场份额。然而，美国在2022年实行的BIS禁令使得国产替代的需求愈发迫切，特别是对于量测与检测设备这类受禁的关键设备。 我国企业在国产化进程中已有所突破。中科飞测、上海精测、上海睿励等本土企业首先在薄膜厚度量测、微米级晶圆缺陷检测等技术壁垒较低的领域取得了进展，市占率从2018年的0.7%提升到了2022年的4%。尽管整体半导体设备的国产化率约为15-20%，但量测与检测设备的国产化率仍然低于光刻机等其他设备类型，面临着较大的挑战。 为了追赶国际先进水平，国内厂商采取了多元化的策略，包括自主研发和海外并购。中科飞测、上海精测等公司通过自主研发积极进入半导体量测与检测领域，而赛腾股份、天准科技等则通过收购海外公司来扩展产品线并构建产业生态。本土企业已在多个细分设备领域实现了广泛覆盖，并在光学系统和检测算法等技术难题上取得突破，显示出国内企业在该领域的决心和能力。 这篇报告强调了国产半导体量测与检测设备在面临国际竞争压力下所取得的进步，以及本土厂商在攻克技术难关、提升产品性能和扩大市场份额方面的努力。随着政策支持和市场需求的增长，未来国产量测与检测设备的国产化率有望进一步提升，助力中国半导体产业链的自主可控。