SILVACO TCAD仿真教程：DECKBUILD与ATHENA实战

“silvaco tcad中文英文资料（包含linux和windows版本）” Silvaco TCAD（Technology Computer-Aided Design）是一款强大的半导体器件建模和仿真工具，用于设计、分析和优化微电子及光电子器件。该资源包含了Silvaco TCAD的中文和英文资料，适用于Linux和Windows操作系统，对于学习和使用Silvaco软件的用户来说是一份宝贵的资料。 在Silvaco TCAD中，DECKBUILD是一个重要的组件，它是一个用于构建和编辑仿真程序的文本编辑器。DECKBUILD界面分为两个子窗口，一个是文本窗口，用于创建和编辑仿真输入文件；另一个是运行时输出窗口，显示仿真过程中的信息和结果。 在DECKBUILD中启动ATHENA仿真器，可以通过输入命令`deckbuild –an&`，这里的`-an`参数指定使用ATHENA作为默认仿真器。ATHENA是Silvaco TCAD中的一个子程序，专门用于模拟半导体器件的行为。 为了熟悉DECKBUILD和ATHENA的使用，可以操作DECKBUILD的“Main Control”菜单，选择“Examples”子菜单，查看和运行预设的示例。示例按照功能和应用领域分类，例如“MOS Application Examples”，其中包含多个MOSFET应用的实例。通过双击具体的示例文件（如mos1ex01.in），可以查看其描述，了解所需的软件模块、示例目的、使用的仿真命令以及预期结果。 加载示例文件到DECKBUILD的文本窗口，可以直接运行仿真。点击“Load example”按钮，输入文件会被加载并自动复制到工作目录。运行完成后，例如在进行MOS管的工艺模拟后，MOS管的结构会自动生成并显示，便于分析和理解器件性能。 这份资料对于学习Silvaco TCAD的用户来说，提供了DECKBUILD和ATHENA的基础操作指导，以及通过实例学习如何进行器件建模和仿真的机会，有助于深入理解和掌握Silvaco TCAD的使用技巧。