Sentaurus TCAD 培训教程：从入门到实践

"sentaurus中文教程.pdf" 这篇 Sentaurus 中文教程是针对 Sentaurus TCAD 2007.03 版本的培训材料，由某计算机学院的特定小组编撰。Sentaurus 是一个强大的半导体器件及工艺模拟软件套件，广泛应用于微电子和纳米电子技术的研究与开发。 Sentaurus TCAD 包含多个工具，用于全面模拟半导体制造过程和器件性能。其中： 1. Sentaurus Workbench（SWB）是整个套件的集成环境，提供图形用户界面，用户可以在此启动、管理和组织模拟流程。 2. Ligament 是一个流程编辑器，用于构建和编辑复杂的工艺流程，支持自定义参数和用户定义的变量。 3. Sentaurus Process 专注于模拟半导体工艺步骤，包括扩散、刻蚀、沉积等。 4. Sentaurus Structure Editor (SDE) 是一个版图编辑工具，用于设计和编辑器件结构。 5. Mesh and Noffset 3D 专注于三维网格生成和偏移处理，对模拟精度至关重要。 6. Sentaurus Device 是器件模拟的核心组件，可分析器件的电学性能。 7. Tecplot SV 是数据可视化工具，用于展示和分析模拟结果。 8. Inspect 提供了检查和验证模型参数的功能。 9. Calibration Kit 用于校准模型参数，确保模拟结果与实验数据一致。 教程中详细介绍了如何使用 Sentaurus Workbench 开始工作，包括： - 概述 Sentaurus TCAD 的基本概念，解释 TCAD 在半导体工业中的角色，以及工艺和器件模拟的重要性。 - 启动 Sentaurus Workbench 并加载、运行工程，调整工程目录的显示属性，以及查看输出结果。 - 创建新工程，设置工具流，并组装多个实验，以进行参数化研究。 - 使用 Ligament 进行流程和版图编辑，包括启动流程编辑器以构建工艺流程，编辑参数，以及启动版图编辑器来定义模拟区域和保存版图。 - 在 Sentaurus Workbench 中集成和运行 Ligament 工具，以及导入和参数化 Ligament 文件。 这个中文教程为学习者提供了 Sentaurus TCAD 的基础操作和实践指导，适合想要深入了解半导体器件模拟的科研人员和工程师。通过学习，用户能够掌握 Sentaurus 软件的基本用法，进行复杂的工艺和器件模拟，从而优化设计并推动技术创新。