Sentaurus TCAD 2007.03中文培训指南

"Sentaurus TCAD 是一款由Synopsys公司开发的专业半导体工艺与器件模拟软件，本教程针对Sentaurus TCAD 2007.03版本进行讲解，主要涵盖了Sentaurus Workbench、Ligament、Sentaurus Process、Sentaurus Structure Editor (SDE)等核心工具的使用。教程内容包括工具简介、工作流程、工程管理和Ligament的深入操作，旨在帮助学习者掌握TCAD的基本操作和应用。" Sentaurus TCAD 是一个综合性的技术计算机辅助设计（TCAD）平台，用于模拟半导体制造过程和器件性能。该软件在半导体工业中扮演着重要角色，因为它能够帮助工程师预测和优化器件的性能，减少实验次数，降低成本，并加速新工艺和器件的设计迭代。 Sentaurus Workbench 是TCAD的核心组件，是一个集成环境，用于管理、配置和执行复杂的工艺和器件模拟。它支持多工具协作，允许用户创建、编辑和运行工艺流程和器件模型。 Ligament 是Sentaurus TCAD中的一个重要工具，用于构建和编辑工艺流程。它包含流程编辑器和版图编辑器两部分。流程编辑器允许用户定义和编辑半导体制造步骤，包括化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、刻蚀等，而版图编辑器则用于创建和修改版图，定义器件结构。 Sentaurus Process 专注于模拟半导体加工过程，通过精确的物理模型来模拟各种工艺步骤，如扩散、氧化、刻蚀等，帮助理解工艺对器件性能的影响。 Sentaurus Structure Editor (SDE) 是一个强大的版图编辑工具，用于创建、编辑和分析半导体器件的几何结构，它支持用户在三维空间中定义复杂的器件布局。 Mesh and Noffset 3D 是Sentaurus TCAD中的网格和偏移处理工具，用于创建高效的模拟网格，以精确地捕捉器件的几何细节。 Sentaurus Device 用于器件性能的模拟，包括电子输运、热效应等，可以对晶体管、二极管等各种半导体器件进行建模和仿真。 Tecplot SV 是一种数据可视化工具，可以用来展示和分析Sentaurus TCAD产生的大量模拟数据。 Inspect 提供了一种交互式的方式，用于检查和分析模拟结果，帮助用户理解器件行为和工艺效果。 Calibration Kit 用于校准模型参数，确保模拟结果与实验数据的一致性。 教程内容详细介绍了如何使用Sentaurus Workbench进行工作，包括启动、运行工程、创建新工程、组装不同实验以及参数化等操作。同时，Ligament的使用方法也进行了深入讲解，涵盖从启动到流程和版图编辑，以及如何在Sentaurus Workbench中与其它工具协同工作的步骤。 通过本教程的学习，读者将能全面了解Sentaurus TCAD的基本功能和工作流程，为实际的半导体工艺和器件研究打下坚实的基础。