Sentaurus TCAD入门教程：从工作台到Ligament

"sentaurus中文教程，SentaurusTCAD2007.03培训，涵盖了SentaurusWorkbench(SWB)、Ligament、SentaurusProcess、SentaurusDevice等多个模块，适用于初学者学习半导体工艺和器件模拟。" Sentaurus是Synopsys公司的一款强大的半导体工艺与器件模拟软件套件，它在集成电路设计中扮演着重要角色，尤其在研发和优化微电子器件性能方面。本教程以中文形式提供，旨在帮助初学者快速入门。 SentaurusTCAD的核心包括几个主要组件： 1. **SentaurusWorkbench (SWB)**：这是整个工作平台，提供了一个集成的环境来管理、执行和分析模拟。SWB允许用户创建、编辑和运行复杂的工艺和器件模拟流程。 - **GettingStarted**：介绍如何启动SWB，加载和运行工程，以及查看输出结果。 - **工程操作**：包括设置工具流、创建新工程、组装多个实验、添加参数和变量。 2. **SentaurusProcess**：用于模拟半导体制造过程，如扩散、刻蚀、沉积等。用户可以定义和控制工艺步骤，理解工艺对器件性能的影响。 3. **SentaurusStructureEditor (SDE)**：这是一个版图编辑器，用于创建和修改器件的几何结构。 4. **MeshandNoffset3D**：这部分可能涉及3D网格设置，对模拟的精度和计算效率有直接影响。 5. **SentaurusDevice**：专门用于模拟半导体器件的电气行为，如MOSFET、BJT等。它可以进行静态和动态模拟，分析器件特性。 6. **Ligament**：是一个流程编辑器和版图编辑器的组合，用户可以在这里创建和编辑工艺流程，并进行版图操作。 - **Ligament流程编辑器**：用户可以启动新的工艺流程，改变宏调用的参数，设置用户定义的变量，以及进行转换和语法检查。 - **Ligament版图编辑器**：用于创建和保存版图，定义模拟区域，并实现版图参数化。 7. **Inspect**：这可能是一个数据分析和可视化工具，用于查看和解析模拟结果。 8. **CalibrationKit**：可能用于校准模型参数，以更好地匹配实验数据。 9. **TecplotSV**：可能用于图形化输出结果，帮助用户理解和解释模拟数据。 通过本教程，学习者将了解如何利用Sentaurus工具进行半导体工艺和器件的建模，包括工艺流程的定义、器件结构的设计、模拟的执行以及结果的分析。对于想要进入这个领域的工程师和研究人员来说，这是一个宝贵的资源。