空间与时间分辨诊断：ENEA极紫外放电等离子体源在计量学及应用中的研究

本文主要探讨了意大利ENEA弗拉斯卡蒂研究中心运行的一种基于极紫外（EUV）发射的放电产生的等离子体源，其在计量学和其他应用领域具有重要价值。这种放电产生的等离子体（DPP）系统利用低压氙气作为工作介质，能够产生100纳秒持续时间的辐射脉冲，辐射波长范围在10到20纳米之间，单次脉冲的能量为20毫焦耳/脉冲/ steradian，并以每秒10赫兹的高重复率运行。 文章详细描述了该等离子体源的特性及操作过程。通过电测量手段，研究人员能够实时监测和控制复杂的放电过程，确保等离子体的稳定性和可控性。同时，文中提到了一种带门控的CCD相机，它被用来观察和记录等离子体的时空演变情况，这对于理解放电行为、优化性能以及评估其在高功率激光科学与工程中的潜在应用至关重要。 作者S. Bollanti、P. Di Lazzaro、F. Flora、L. Mezi、D. Murra和A. Torre在《HighPowerLaserScienceandEngineering》杂志上发表了这篇论文，该研究发表于2015年，卷号为3，文章编号e29，DOI为10.1017/hpl.2015.30。读者可以通过链接访问文章全文，并了解到关于空间和时间分辨率诊断技术在ENEA EUV DPP源中的具体应用和效果。 此外，文章还提醒读者可以通过邮件订阅、商业复制授权、使用条款等附加服务获取更多相关信息。引用该文章时，应遵循指定的格式：S. Bollanti等（2015）。ENEA EUV放电产生等离子体源的空间和时间分辨诊断，用于计量学和其他应用。《HighPowerLaserScienceandEngineering》，3:e29, doi:10.1017/hpl.2015.30。这项研究对于深入了解EUV放电等离子体源的物理特性和其在先进光刻、材料处理等领域的潜在应用具有重要意义。