大口径碳化硅反射镜子孔径拼接干涉检测方法及应用

本文主要探讨了在大口径反射镜面形检测领域的一个重要突破——子孔径拼接干涉检测技术。大口径碳化硅反射镜因其特殊的应用需求，对表面精度有极高的要求。传统的检测方法在处理大口径镜片时面临着诸多挑战，因此，提出了一种创新的子孔径拼接方法来解决这一瓶颈问题。 子孔径拼接干涉检测的核心在于将大口径反射镜分割成多个小的子孔径，每个子孔径单独进行检测，然后通过精确的数学模型进行整合。作者运用了三角剖分算法，这是一种在计算机图形学中常见的算法，用于将复杂的几何形状分解成简单的组成部分。最小二乘拟合则被用来优化各子孔径的测量数据，确保整体面形的准确性。同时，齐次坐标变换技术在此过程中起到了关键作用，它允许在不同坐标系之间进行平滑的转换，这对于将像素坐标转换为物理坐标至关重要。 具体操作中，研究人员规划了7个子孔径，针对一个800毫米的大口径碳化硅反射镜进行了拼接测量。他们成功获取了全口径的面形分布，这为后续的精确加工提供了准确的数据基础。为了实现镜面物理坐标和拼接像素坐标的转换，文中提到采用了基准靶标，并结合迭代算法进行，确保了坐标转换的精确性和一致性。 本文的研究成果不仅提升了大口径反射镜的检测效率和精度，还为光学检测领域的技术发展提供了新的思路和实用工具。光学检测在激光与光电子学领域扮演着重要角色，尤其是在大口径反射镜的设计和制造中。子孔径拼接干涉检测技术对于提升整个行业的技术水平，推动高性能光学设备的发展具有重要意义。 关键词：光学检测、大口径反射镜、碳化硅、子孔径拼接干涉术，这些关键词体现了本文研究的重点和应用领域。通过本文，读者可以了解到如何利用子孔径拼接技术解决大口径反射镜检测难题，以及这一技术在实际工程中的应用实例，对于从事相关领域科研和工程实践的人员来说，这是一篇极具价值的参考文献。