亚微米级曲率半径测量的高精度与不确定度分析

本文主要探讨了亚微米级别的高精度曲率半径测量技术及其不确定度分析。在高精度光学系统的设计与制造中，精确测量曲率半径是至关重要的，特别是在纳米尺度的光学元件中，这直接影响到光学系统的性能和稳定性。研究者采用立式Fizeau型干涉仪与双频激光测长干涉仪相结合的方式，实现了对光学零件曲率半径的亚微米级测量。 为了确保测量系统的可靠性，作者通过实验验证，利用两个独立的参考镜对一系列具有不同曲率半径的光学零件进行了测量，并对可能影响测量精度的关键因素进行了深入剖析。以SiC小球为例，根据不确定度理论，研究者计算出测量结果的不确定度约为0.13微米，这一数值是在假设测量结果服从正态分布且置信水平为95%的前提下得出的。这个结果表明，该测量系统达到了亚微米级的高精度要求。 为了进一步验证测量结果的准确性，文章还采用了三坐标测量机进行交叉测量，通过对比同一元件的两次测量数据，证实了立式干涉仪测量的精确性。这种交叉验证方法是评估测量系统稳定性和一致性的重要手段。 在整个研究过程中，作者遵循了严谨的科学方法，结合了理论分析和实验验证，确保了测量结果的可靠性和精度。关键词包括测量、曲率半径、立式干涉仪、不确定度以及交叉测量，这些都揭示了论文的核心内容和研究焦点。本文提供了一种实用且精确的亚微米级曲率半径测量技术，对于光学领域的精密工程具有重要意义。