第
卷
第
期
中
国
激
光
年
月
CHINESE
JOURNAL
OF
LASERS
November
类
Sa
g
nac
干涉仪结构的三维多微环谐振滤波器
张 福 领
翟 珊
潘 俊
冯 吉 军
中国电子科技集团公司第二十七研究所
河南
郑州
上海理工大学光电信息与计算机工程学院
上海市现代光学系统重点实验室
上海
摘要
干涉仪在光学滤波领域有着重要应用
基于三维氮化硅波导平台
利用双层的多 微环 系统实 现了 新
型类
谐振滤波系统
其中底层主微环腔分别与顶层输入
输出波导和单
双子微环实现了反馈耦合
光经耦
合区域产生了两束相向传输并互相干涉的光波
从而实现了滤波波形和谐振峰位 可调 的滤波 结构
基于 传输 矩阵
和迭代方法分析输出光谱
通过改变波导与微腔的耦合 系数 设 计输 出光 谱 波形
利 用金 属加 热 电极 调制 主 微腔 的
相位以调控谐振峰位
理论分析和实验表征结果表明
通 过增 加顶 层 子微 环数 可 有效 增强 器 件的 密集 滤 波效 果
此三维集成结构可提供更多的设计自由度
相关的多微环谐振滤波系统可以广泛应用于光通信和光传感等领域
关键词
集成光学
效应
集成光子器件
微环谐振器
氮化硅
中图分类号
文献标志码
doi
:
.
/
CJL.
Three-Dimensional
Multi-Microrin
g
Resonance
Filter
Based
on
Sa
g
nac-Like
Interferometer
Abstract
Ke
y
words
OCIS
codes
收稿日期
修回日期
录用日期
基金项目
国家自然科学基金
上海市自然科学基金
上海市
青年科技启明星
上海高校特聘教授
东方学者
岗位计划
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引
言
光学 滤波器作为 重要的光器 件
可以广泛应 用
于光通信和密集 波 分复用系 统
一 般 滤 波 器 结
构是基于光 学 微 腔
或 干 涉 原 理
如 马 赫
曾 德 尔
干涉
迈 克 耳 孙 干 涉
和 萨 格 纳 克
干
涉
等
其 中
马 赫
曾 德 尔 干 涉 和 迈 克 耳 孙 干 涉
是利用不同的臂长产生光程差
容易引入其他噪声