利用共聚焦散射显微镜检测熔融石英光学元件的次表面缺陷

0 下载量 142 浏览量 更新于2024-08-30 收藏 1.18MB PDF 举报
"这篇文章是关于使用激光共焦散射显微镜检测熔融石英光学元件亚表面缺陷的研究。研究人员提出了一种非破坏性的测量技术,通过结合光散射方法和激光共焦扫描层析成像,来表征亚表面缺陷层的深度和分布。他们制作了三种不同研磨和抛光工艺的熔融石英样本,以验证该方法的有效性和准确性。通过直接测量,可以识别出微米级的裂纹和划痕。该研究由来自同济大学精密光学工程研究所、航空航天工程与应用力学学院、天津天津金航技术物理研究所光学薄膜重点实验室以及黔南民族师范学院物理系的多个机构的学者共同完成。" 在本文中,主要探讨了以下IT相关的知识点: 1. **非破坏性测试技术**:这是一种无需破坏样品就能对其进行检查的技术,对于昂贵或敏感的光学元件尤其重要。在本研究中,这种技术被用于检测熔融石英光学元件的亚表面缺陷,保持其完整性。 2. **光散射方法**:光散射是光线遇到不均匀物质时发生偏转的现象。在本研究中,光散射被用来探测并分析熔融石英内部的缺陷,散射光的强度模式能揭示缺陷的深度和分布。 3. **激光共焦扫描层析成像**:这是一种高分辨率的成像技术,通过聚焦激光束在样品上进行逐层扫描,创建出三维图像。在检测亚表面缺陷时,这种技术能够提供精确的深度信息。 4. **熔融石英光学元件**:熔融石英是一种高纯度、低吸收、热稳定性好的光学材料,广泛应用于高精度光学系统。研究中的样本经过不同的研磨和抛光处理,以模拟实际生产过程中的各种缺陷。 5. **缺陷表征**:通过实验,研究人员能够表征出缺陷的尺寸(如微米级的裂纹和划痕)、深度和分布情况,这对于理解和改进制造工艺至关重要。 6. **多学科合作**:该研究涉及光学工程、航空航天工程、应用力学以及物理学等多个领域,体现了现代科技发展中的跨学科协作。 7. **实验验证**:使用不同加工工艺的熔融石英样本进行实验,目的是验证所提方法的可靠性和实用性,这是科学研究中的常规步骤。 8. **电子邮件联系人**:文章末尾给出了通讯作者的电子邮件地址,这在学术交流中常见,便于其他研究者与作者进行进一步讨论或合作。 这项研究展示了一种创新的检测技术,对于光学元件的质量控制和工艺改进具有重要意义。通过结合光散射和激光共焦技术,可以实现对熔融石英亚表面缺陷的精准无损检测,对于光学器件制造业具有很高的应用价值。