大范围位移的反射相移激光自混合干涉仪实时测量技术

反射相移型激光自混合干涉仪的大量程位移实时测量技术是一种创新的精密测量方法，由刘强和王鸣两位研究者在中国科技论文在线上发表的首发论文中详细探讨。该技术利用金属介质膜对激光的特殊效应，通过调整反射的自混合干涉信号在电域的相移，使得激光自混合干涉仪能够在弱反馈状态下工作，从而产生两路正交的干涉信号，以实现高精度的位移测量。 该技术的核心原理是通过金属膜对激光的衰减效应，实现了对激光强度的控制，同时在相位上进行精细调整，使得干涉仪能够在大范围位移下保持稳定的测量性能。在大尺度位移如百毫米级别，为了提升测量精度和分辨率，研究者们在数字域对采集的自混合干涉信号进行了细分处理，这有助于增强系统的抗噪声能力，确保测量结果的可靠性。 在实验验证阶段，使用PI精密商用电动位移平台进行校准，结果显示在100毫米的位移范围内，可以实现惊人的0.4微米分辨率。这种技术的一大优势在于能够实现快速的实时测量，但由于受到数据采集与处理系统采样率的限制，理论上在mm级的大范围测量中，速度可达到接近100毫米每秒，显示出极高的测量效率。 该论文的关键词包括"自混合干涉"、"反射相移"、"数字细分"以及"实时高速测量"，这些都强调了这项技术在现代精密测量领域的关键特性。反射相移型激光自混合干涉仪的大量程位移实时测量技术为长距离、高精度和高速度的位移检测提供了一种新的解决方案，对于科研和工业应用具有重要的实际价值。