超微压力测量装置：原理、误差分析与应用

"超微压力测量装置原理及其误差分析 (1990年) - 上海自动化仪表一厂 - 魏吉声 - 工程技术论文" 本文详细介绍了用于测量超微压力（0~5Pa至0-160Pa）的专用装置的设计和工作原理。这种装置的核心在于一个采用特殊工艺制造的钟罩，它能够将微小压力的测量转化为重量的测量，实现了通过称重法来计量0~25Pa的压力。该装置的计算精度高达万分之五，确保了测量的精确性。 在设计过程中，对钟罩的尺寸和形位公差进行了严格的控制，这直接影响到测量的准确性。通过对这些参数的误差分析，可以进一步确定整个装置的测量精度。此外，这个装置具有便携性，测试过程简便，灵敏度高，适用于仪表厂对0-160Pa量程内的压力和差压变送器、传感器进行测试。同时，它还能连续计量0-160Pa的压力值，满足计量系统的使用需求。 该装置在上世纪80年代末已被上海自动化仪表一厂采用，并作为CPCW-25超微差压变送器（测量范围0~25Pa）的计量基准，得到了相关计量单位的认可。它的应用解决了超微压力和差压变送器的计量问题，以及压力开关和传感器的测量挑战。由于当时国内尚未建立相关的计量基准，此类测量通常依赖于理论计算值。 文章中提到，随着科学技术的进步，特别是在航天技术、生物医药实验和空调系统等领域，对超微压力和差压的测量需求日益增加。例如，美国Easl公司VciorWnee博士在密封性工程中遇到的25Pa超微压差测量问题，以及国内科研机构和高校在各自项目中的相关需求，都表明了这类测量装置的重要性。 该装置的工作原理基于秤重法，通过图1所示的结构，将微小的压力变化转化为质量的变化，从而实现测量。这种设计确保了在处理超微压力范围时的稳定性和可靠性。在上海石化总厂仪修厂初次研制成功后，经过对比测试和专家论证，最终得以在实际应用中推广。 这篇论文详细阐述了超微压力测量装置的设计、工作原理以及误差分析，对于理解和解决超微压力测量问题具有重要的参考价值。随着技术的发展，这种装置的出现填补了国内在此领域的空白，为超微差压变送器的生产和计量提供了有力支持。