SU-8光刻胶制作的自写入光波导微透镜阵列研究

"自写入光波导聚合物微透镜阵列的设计与制作" 这篇科研文章探讨了如何利用聚合物SU-8光刻胶的独特性质，设计并制作一种自写入光波导的微透镜阵列。SU-8光刻胶在受到激光照射时，其折射率会发生变化，这一特性被巧妙地应用于微光学器件的制造中。作者通过光刻胶热熔法和图形转移法，成功制备出填充因子约为0.75、六角排列的微透镜阵列。 制作过程中，首先将SU-8光刻胶涂覆在基底上，然后利用激光束引导，使得光刻胶在受光区域的折射率改变，形成光波导。这种自写入的过程无需复杂的精密加工，简化了制造流程，降低了成本，同时也有利于大规模生产。阵列的表面形态经观察，表现出良好的外观和清晰的边缘，表明光刻过程控制得当。 进一步，通过三维结构分析，自写入光波导微透镜阵列的结构完整且均匀，证明了该技术在制造复杂微结构方面的潜力。在光学性能测试中，波导末端的光点分布均匀，光强一致性高，这意味着这些微透镜阵列能有效地引导和集中光线，适用于各种光学系统。 这种自写入光波导的微透镜阵列的优势在于减少了透镜阵列与探测器阵列精确对准的难度，因为它们可以一体成型，不需要额外的精密装配步骤。此外，由于其由聚合物制成，所以具有重量轻、体积小的特点，非常适合于集成在紧凑型光学设备中，如传感器、光纤通信设备或生物医学检测装置等，具有广阔的应用前景。 该研究提供了一种创新的微光学元件制造方法，为光学器件的微型化和集成化提供了新的可能，有望推动相关领域的技术进步。