SU-8光刻胶悬臂梁加速度传感器：法布里-珀罗干涉机制

"基于SU-8光刻胶的光纤法布里珀罗加速度传感器设计与理论分析" 本文探讨了一种利用SU-8光刻胶技术制造的光纤法布里珀罗(Fabry-Pérot)加速度传感器。SU-8光刻胶因其能实现高深宽比的微结构加工，成为制作这种传感器的理想材料。传感器的核心结构是悬臂梁-质量块，该结构对加速度敏感。通过理论推导，作者建立了加速度与悬臂梁的挠度以及法布里-珀罗腔内干涉光强之间的数学模型，简化了计算公式，并深入讨论了影响传感器性能的主要因素，包括灵敏度和固有频率。 文章提出了一个创新的“卍”形悬臂梁-质量块结构，这种设计能有效提高传感器的灵敏度，并确保其拥有优良的检测模式。通过对传感器结构参数的分析和优化，作者证明了“卍”形结构在实际应用中的优势。仿真结果与理论分析一致，证实了利用法布里-珀罗干涉效应可以精确地测量加速度。 关键词涵盖了传感器技术、加速度传感器、悬臂梁-质量块结构、法布里-珀罗干涉以及SU-8光刻胶的应用。该研究对于理解光刻胶在微纳传感器中的应用，特别是加速度传感器的设计和性能优化，提供了有价值的参考。此外，这一工作还为未来开发新型、高灵敏度的光纤传感器提供了新的思路和技术路径。