彩色滤光膜制造技术详解：TFT-LCD关键工艺比较

彩色滤光膜制造技术是液晶显示(LCD)生产过程中不可或缺的关键环节，它涉及到多种工艺和方法，以确保显示器能够呈现出丰富的色彩和高质量的图像。在本课程课件中，主要探讨了以下几个关键步骤和技术： 1. 黑纹(BM)制程技术：这是一种常用的制作方法，通过在玻璃基板上涂覆Cr/CrOx材料，形成光阻，然后经过曝光、显影和蚀刻，去除未被光照射的部分，形成黑色图案。黑纹技术的优点包括膜厚薄、光学浓度优良以及相对较低的成本，但缺点是可能存在环境污染和较低的分辨率。 2. Cr/CrOx制程技术：这种工艺利用Cr/CrOx材料制作光阻，相比黑纹工艺，膜厚较厚，光学浓度较差，但其稳定性和无黑纹工艺带来的低成本是一大优势。 3. 感光树脂制程技术：使用黑色光阻和感光树脂，如石墨或颜料树脂，通过光致抗蚀刻原理形成颜色层。这种工艺的优势在于膜厚适中、光学浓度好且工艺稳定，但可能成本较高且环境影响较大。 4. 彩色层制程技术： - 颜料分散法：通过将颜料均匀分散在光阻层中，通过多轮涂布、曝光和显影，可以实现三色的精细排列，适用于需要显示文字的场合，如笔记本电脑屏幕。 - 电著法：通过电场作用沉积颜料，形成颜色层，此法适合动态画面显示。 - 染色法：通过染料直接赋予基板颜色，适合大批量生产。 - 印刷法：采用印刷技术在基板上添加颜色，成本低但可能影响分辨率。 彩色滤光膜的制造过程通常包括以下几个阶段：首先，使用玻璃基板作为底层，接着涂布黑色矩阵以形成像素之间的隔离；然后，通过不同的制程技术制作彩色层，如颜料分散法形成的马赛克式、直条式或三角形结构，根据应用场景选择合适的图案。最后，加上保护层和ITO导电膜，完成整个彩色滤光膜的制作。 彩色滤光膜的制造技术不仅关乎到显示器的色彩表现和分辨率，还与生产工艺的选择、成本控制和环保因素紧密相关。了解并掌握这些技术对于液晶显示行业的发展至关重要。