移相干涉术在量块长度及变动量高精度测量中的应用

"应用移相干涉术测量量块长度和长度变动量" 本文主要探讨了利用移相干涉术对一等量块进行高精度长度测量的技术。移相干涉术是光学干涉测量的一种，通过分析光波的相位变化来获取物体表面的微小形貌信息。在量块测量中，这一技术能够提供对被测面形貌的精确描述，从而提高测量精度。 首先，文章介绍了使用移相干涉术的基本原理。当量块的一个测量面与辅助平晶的测量面研合时，两者的表面状态会通过光的干涉效应显示出来。通过采集多幅干涉图像，并应用移相算法，可以计算出这两个表面的波面形状。这种方法的关键在于处理干涉图中的阶跃不连续性，即如何准确恢复因表面不平整导致的波面中断。 在处理阶跃不连续的波面复原运算时，文章详细阐述了相关的技术和方法。通常，这涉及到复杂的数据处理技术，如傅里叶变换和迭代算法，以确保在有阶跃变化的干涉图中恢复出连续的波差分布。这样做可以得到一个离散的波差值数组，这个数组直接反映了量块工作面的形貌特征。 通过对这些数据的分析，不仅可以得到量块的长度，还可以计算其长度变动量，即长度随环境条件变化的量。这对于理解和控制量块的稳定性至关重要，特别是在精密计量和高精度制造中。量块的长度变动量测量对于评估其长期稳定性以及与其他长度标准的比对具有重要意义。 此外，文章还讨论了传统干涉测量方法的局限性，例如只能测量量块的特定点而无法反映整个测量面的平面度，以及人工目视判读条纹导致的低效率。移相干涉术的引入解决了这些问题，提供了全表面的测量能力和更高的测量效率。 关键词：量块、长度变动量、移相干涉术、波面面形、阶跃不连续波面复原、高精度测量 这篇研究工作对于提升长度计量的精确性和效率具有重要的科学价值，它推动了量块测量技术的发展，为未来的高精度长度测量提供了一种有效的方法。同时，这种方法的创新性和实用性也为相关领域的工程实践提供了有力的技术支持。