书书书
第
41
卷
第
3
期
中
国
激
光
Vol.41
,
No.3
2014
年
3
月
犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犔犃犛犈犚犛
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,
2014
哈特曼 夏克波前传感器的高精度质心探测方法
李
晶
1
,
2
巩
岩
1
呼新荣
2
李春才
1
,
2
1
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林 长春
130033
2
中国科学院大学,北京
( )
100049
摘要
为提高哈特曼 夏克波前传感器(
HSWFS
)的光斑质心探测精度以实现光学系统的高精度波前检测,提 出了
一种有效的质心探测方法。该方法利用非线性滤波和窗 口 法对 整幅 光 斑图 像进 行 全局 处理 后,结 合中 值滤 波、三
次样条插值和自适应
Otsu
阈值法对单个光斑进行 局部 处理。 分析 了三 次 样条 灰度 插 值点 个数 不 同,探 测 精度 和
计算时间的变化规律
。采用该方法探测了含有噪声的光斑图像,其质心探测误 差仅 为
0.0442
p
ixel
,比 传统 的非线
性滤波、
Otsu
阈值法和探测窗口法探测精度分别提 高了
91.86%
、
87.97%
和
31.79%
。对 已知 波 像差 的光 学 系统
进行了仿真检测
,得到的波前检测精度峰谷(
PV
)值为
0.0098
λ
,精度均方根(
RMS
)值达到
0.0027
λ
。结果表明该
方法能够提高质心探测精度,可用于高精度光学系统的检测。
关键词
探测器;哈特曼 夏克波前传感器;波前检测;图像处理;质心探测
中图分类号
TH741
文献标识码
A
犱狅犻
:
10.3788
/
犆犑犔201441.0316002
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220.4840
;
220.1080
;
230.0040
收稿日期:
20130814
;收到修改稿日期:
20131012
基金项目:国家自然科学基金青年基金(
41104122
)、科技部国际合作项目(
2011DFR10010
)
作者简介:李
晶(
1987
—),男,博士研究生,主要从事光学检测装调方面的研究。
Email
:
li
j
in
g
871215
@
126.com
导师简介:巩
岩(
1968
—),男,研究员,博士生导师,主要从事光机集成设计和系统装调技术等方面的研究。
Email
:
g
on
y
@
sklao.ac.cn
1
引
言
哈特曼 夏 克 波 前 传 感 器(
HSWFS
)是 一 种 基
于波前斜率测量的光学检测装置
,因具有结构简单、
环境适应能力强、实 时性强等 优 点被广泛 应 用在激
光波前检验
、视光学、自 适 应光学、光 学 检测和装 调
等领域
[
1-5
]
。 光 斑 质 心 探 测 误 差 是 决 定
HSWFS
波前检测精度的重 要因素,人 们 对减小质 心 探测噪
声的方法进行了深 入研究,这 些 方法主要 可 归为三
03160021