UF系列Prober GP-IB通信指令详解

本资源是一份关于UF系列Prober的GP-IB（General Purpose Interface Bus）通信指令操作手册，由东京半导体株式会社(Tokyo Seimitsu Co., Ltd.)发布，适用于一系列产品型号，包括UF3000/UF3000EX、UF2000/UF200R、FP3000/UF3000LX和FP2000。这份文档详细介绍了UF系列探针器与GPIB接口进行交互的方法和命令，重点在于设备操作、配置和控制。 1. **GPIB接口概述**: - 描述了GPIB接口的配置，这是一种工业标准串行接口，允许仪器之间通过计算机进行通信。 - 内容涵盖接口配置细节，包括总线线路以及消息传输机制，确保用户能够正确设置和管理设备连接。 2. **Prober操作与命令**: - 该部分是手册的核心内容，详细列出了30个不同的命令，每个命令都有特定的功能： - A(String)：执行绝对位置移动，用于调整探针器的XYZ轴。 - B：请求探针器ID，用于确认设备身份或进行设备间的通信。 - C：标记功能，可能涉及到设备状态或程序中的标记点。 - D：Z轴向下，可能涉及探针的垂直运动。 - E：请求错误代码，用于检查设备运行状况。 - F：计数器操作，如计数器增加，可能用于故障检测或计数任务。 - F(String)：F轴精细调整，可能用于精确控制探针的动作精度。 - G：定位开始晶圆，启动测量或定位过程。 - H：多站点位置请求，可能涉及在多个区域或晶圆上的位置管理。 - I：索引尺寸设置，影响探针器的寻址方式或测量范围。 - J：定位下一个die或目标die，涉及程序的顺序控制。 - K：停止当前操作，中断正在进行的任务。 - L：通用动作，可能包括卸载、加载或对准等操作。 - 其他命令如L1（无对准加载晶圆）、L8（预加载）和L9（加载）提供灵活的装载选项。 3. **命令描述与示例**: - 对每个命令提供了详细的解释，包括参数和可能的响应，有助于用户理解和正确使用这些命令进行设备操控。 4. **环境设置**: - 提供了操作环境的设置指南，包括初始化前和初始化后的设置，以及STB代码设置，这些都是确保探针器正常工作的关键步骤。 这份文档对于任何从事集成电路测试或需要利用GPIB技术控制UF系列探针器的专业人员来说，是一份极其实用的参考资料，它提供了清晰的指令集和操作指导，使得设备的自动化控制和维护更加高效。