电子工厂特种气体系统工程设计规范

"特种气体系统工程设计规范.pdf" 本文档主要介绍了特种气体系统工程的设计与施工规范，旨在确保电子工厂中的安全、环保以及生产效率。规范涵盖了从法律法规的遵循到具体设备设施的要求，旨在实现安全适用、技术先进和经济合理的设计原则。 1. 特种气体系统的适用范围 - 规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂中特种气体输送系统的设计与施工，以满足电子产品生产需求。 - 不适用于特种气体的制取、提纯、灌装系统的相关设计与施工。 2. 定义与术语 - 特种气体：指用于电子产品生产过程中的各种特殊气体，如薄膜气体、掺杂气体等，通常包括可燃性、氧化性、腐蚀性、毒性及惰性气体。 - 特种气体系统：涵盖从储存、输送至分配的全过程，包括所有设备、管道和部件。 - 特种气体间：是存放气体设备、气瓶及输送气体到用气设备的房间。 - 硅烷站：用于存储和处理硅烷气体的独立设施，包括储存设备、气化装置和尾气处理装置。 - 明火地点：指存在外露火焰或赤热表面的固定地点。 - 散发火花地点：如烟囱、室外电焊、砂轮等可能产生火花的场所。 - 空瓶与实瓶：分别指的是留有残余压力和存有气体压力的气瓶。 - 气瓶集装格：由专用金属框架固定的多只气体钢瓶组合，通过集气管接口并联。 - 气瓶柜：一种专门存放气体钢瓶的安全柜。 3. 设计与施工的基本要求 - 特种气体系统的设计需同时符合本规范和其他现行国家相关标准的规定。 - 关注安全性和环境保护，例如对可燃性、氧化性、腐蚀性、有毒气体的处理和防护措施。 - 需考虑气体的特性和生产工艺的需求，选择合适材料和设备，确保系统的稳定和高效运行。 特种气体系统工程设计规范是指导电子工厂安全、高效地使用特种气体的重要依据，其内容涵盖了系统设计的基本原则、关键术语定义以及具体操作中的安全规定，旨在保障人员安全、保护环境以及优化生产流程。