工程17（2022）75研究超材料-文章彩虹表面的吕舟a，#，张楠a，#，徐张杰b，马修辛格a，谢曾a，李仪征a，宋浩民a，Josep Jornetc，Yun Wub，Qiaoqiang Gana，d，Yua美国纽约州立大学布法罗分校电气工程系b美国纽约州立大学布法罗分校生物医学工程系，纽约州布法罗市，14260c东北大学电气与计算机工程系，波士顿，MA 02115，美国d材料科学工程专业，阿卜杜拉国王科技大学，Thuwal 23955-6900，沙特阿拉伯阿提奇莱因福奥文章历史记录：收到2021年2022年2月3日修订2022年3月1日接受2022年7月8日在线发布保留字：彩虹捕获超表面表面等离子体激元超分辨位移片上生物传感A B S T R A C T高精度的光波亚波长操纵可以在光谱学，传感和医学成像中实现新的和令人兴奋的对于这些应用，需要小型化光谱仪来实现光谱信息的片上分析。特别地，对于基于成像的光谱感测机制，关键挑战是准确地确定空间移位信息（即，由波长偏移或生物或化学表面结合引入的空间位移），这类似于超分辨率成像所提出的挑战。在这里，我们报告了一个独特的“雨弓”捕获超颖表面的片上光谱仪和传感器。结合超分辨率图像处理，低设置的4×光学显微镜系统解决了共振的位移在等离子体彩虹捕获超颖表面上的35 nm内的位置，具有小到0.002毫米2。有效耦合的彩虹等离子体共振的空间操纵的这种独特特征揭示了用于小型化芯片上光谱分析的新平台，其光谱分辨率为0.032 nm的波长偏移。使用这种低设置的4×显微镜成像系统，我们对于A549衍生的外泌体，显示出每毫升1.92× 109个外泌体的生物传感分辨率并使用外泌体表皮生长因子受体（EGFR）表达值区分患者样品和健康对照，从而展示了用于个性化精确生物/化学感测应用的新的芯片上感测系统©2022 The Bottoms.由爱思唯尔有限公司代表中国工程院和高等教育出版社有限公司出版。这是一篇CC BY-NC-ND许可下的开放获取文章（http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/）中找到。1. 介绍基于成像的传感技术是用于可视化基本生物或化学信息的主要工具。但由于对于经典的光学衍射极限，常规的光学成像系统通常体积庞大且昂贵，以实现更好的成像能力。纳米尺度上的超慢波由于其在小型化纳米等离子体结构中改善光-物质相互作用的独特潜力而引起极大兴趣特别是，超材料中光y支持本研究结果的数据和本研究中使用的自定义代码可从通讯作者Q。在合理的要求下。*通讯作者。电子邮件地址：qiaoqiang. kaust.edu.sa（Q. Gan）。#这些作者对这项工作做出了同样的[5]和等离子体梯度结构[6最近对各种光子纳米结构的研究[1-14]已经证明，可以通过系统地改变表面光栅的几何参数（例如，槽深和光栅周期[6渐变光栅的色散关系随位置单调变化，因此不同波长的入射波可以被据信，这种类型的芯片上波长分离功能将导致小型化的光谱仪平台（例如，参考文献[15最近，类似的波长分裂功能在几种渐变等离子体光栅结构[22-https://doi.org/10.1016/j.eng.2022.03.0182095-8099/©2022 THE COMEORS.由爱思唯尔有限公司代表中国工程院和高等教育出版社有限公司出版。这是一篇基于CC BY-NC-ND许可证的开放获取文章（http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/）。可从ScienceDirect获取目录列表工程杂志首页：www.elsevier.com/locate/engL. Zhou，N.Zhang，C.C.Hsu等人工程17（2022）7576×基于片上成像的传感系统[25对于这些基于成像的强度调制和/或波长调制传感机制，关键挑战是准确地确定空间信息[30-这是实现超灵敏片上成像和传感技术的关键。2. 设计原则在这里，我们展示了等离子体“彩虹”捕获Meta表面，以实现由于等离子体共振而引起的空间图案偏移的超分辨率识别，其可以使用低设置光学显微镜成像系统来实现。如图所示。如图1（a）所示，在不透明金属膜（270 nm厚;制造细节见下一节）上制造具有渐变几何参数的浅金属表面光栅。取决于局部几何形状，宽带入射光的不同入射波长可以有效地耦合到渐变超颖表面上的表面等离子体激元（SPP），导致共振的芯片上彩虹分布。图1（b）示出了分级的纳米颗粒的扫描电子显微镜（SEM）图像。表面光栅与的整体尺寸的30公升 64公升。根据原子力显微镜（AFM）表征，表面光栅的平均深度为35.6 nm ± 0.4 nm（表征结果见附录A图S1）。光栅的周期从250 nm到850 nm不等，步长约为5nm（SEM表征见附录A中的图S2）。在白光照明下，我们记录了光栅的反射图像，显示出清晰的彩虹色，如图1（c）所示（见附录A中的第S3节和图S3光学测量细节）。由彩虹捕获效应[20]引入的这种空间波长分裂对局部介电环境扰动敏感，从而能够在芯片上进行空间位移成像和感测。为了分析彩虹捕获机制，四个窄带波长（即， 500、530、590和650 nm），以照射样品。它们相应的灰度顶视图像如图1（d）所示（每个波长下的图像的上图）。由于SPP模式的有效耦合，为了揭示该渐变超颖表面的物理特性，执行二维（2D）时域有限差分（FDTD）模拟以绘制所发射的SPP模式的近场分布，清楚地示出了沿着渐变表面光栅的彩虹耦合 如图2中的下面板所示。如图1（d）所示，2D电场分布的侧视图表明SPP可以被发射并定位在渐变超颖表面上的不同区域（即，[8];参见附录A中第S4节的模拟细节）。实验结果表明，表面光栅的远场反射像中出现了一个暗区，这与实验结果吻合较好有趣的是，远场中的反射下降（即，图1（d）中的顶部暗红色箭头）对应于渐变光栅表面上的局部SPP模式（即，图中底部的红色箭头。 1（d））。当入射波长或表面折射率改变时，近场和远场特征都相应地改变（参见第S4节）。最敏感的感测区域位于渐变超颖表面上的捕获SPP模式区域内，由于独特的非线性效应，该区域与远场散射暗区域略有图1.一、分级（a）“彩虹”捕获超颖表面的示意图（b）总尺寸为30l m× 64l m的梯度光栅的SEM图像底部插图显示从样品的左边缘到右边缘的周期性差异（比例尺：20μ m）。(c)白光照明下渐变光栅的反射图像（通过4×显微镜观察;比例尺：20l m）。(d)单色顶视反射图像（上图）和它们在不同入射波长（比例尺：20l m）下的近场（下图）中的相应模拟侧视电场分布L. Zhou，N.Zhang，C.C.Hsu等人工程17（2022）7577××彩虹捕获metasur面的耦合和散射特征（更多详情见附录A中的第S4节和图S4因此，可以通过使用简单且不昂贵的光学器件监测远场中反射倾角的空间偏移来实现新的且强大的片上3. 材料和方法熔融二氧化硅晶片（Semiconductor Wafer，Inc.）分别使用丙酮、甲醇和去离子（DI）水通过在每个步骤浸入超声波浴中10分钟来清洗。一使用电子束蒸发器（ AXXIS， Kurt J. LeskerCompany）以0.02nm μ s-1的沉积速率制备。AURIGA横梁（卡尔·蔡司AG）聚焦离子束（FIB）-SEM用于FIB和SEM特征。化。所有凹槽宽度设定为180 nm。利用这种彩虹捕获超颖表面，我们研制了一种超分辨率位移光谱成像仪.4. 结果和讨论4.1. 陷波在这里，我们首先通过选择五个窄带波长来照亮样品，展示了一个片上“彩虹”光谱成像仪（图1）。 2（a））。由于SPP模式取决于输入光的入射角，因此准直入射光对于受控光学耦合是期望因此，我们引入了一个数值孔径（NA）为0.13（对应最大入射角为7.47°）的4物镜进行观测反射图像。在这种条件下，由于SPP模式的有效耦合，可以清楚地观察到暗条（图2（b））。有趣的是，当入射波长以30 nm的步长从560 nm调谐到680 nm时（图2（a）），暗条相应地移动（图2（b））。因此，通过解析暗条的空间位置，可以执行片上光谱分析。 在这种基于成像的装置中，在用于高光谱分辨率的常规光谱仪中使用的光学衍射光栅和长光程被芯片上的彩虹捕获超颖表面取代，该超颖表面可以通过电荷耦合器件（CCD）或互补金属氧化物半导体（CMOS）相机直接成像。值得注意的是，这种片上成像光谱仪的光谱分辨率远远超出了成像系统的衍射极限，如下所示。在传统的光谱位移应用中（例如，用于等离子体生物传感的波长调制[34-因此，在更灵敏的光谱分析和感测中，期望波长偏移识别中的更高在图中所示的实验中，图2（b）中，通过4显微镜获得图像。在该放大率下，每个像素对应于大约1.6l m的空间维度。因此，低设置成像系统的物理分辨率对这种片上光谱仪施加了技术限制。特别是，由于光栅耦合器的带宽相对较宽，这些暗条的谷位置不清楚（图11）。 附录A中的S5）。为了解决这一挑战，我们从超分辨率成像中借用一个概念来识别图案的物理或几何质心（例如，点扩散函数用于提取荧光染料分子的质心[37对于图2（a）中所示的每个波长，我们捕获了50帧（每帧0.2s）并计算了它们的质心（详见附录A中的第S6 如图在图2（c）中，每个波长的50个质心被定位在0.02像素内。图二、用4倍物镜观察捕获的（a）由常规的基于光纤的光谱仪测量的入射光谱（a.u.：任意单位）。（b）在五个选定波长的照明下的反射图像（c）每个波长50帧的质心定位所有质心都定位在0.02像素内。右图：在每个波长下观察到的50个质心的放大视图L. Zhou，N.Zhang，C.C.Hsu等人工程17（2022）7578×××××××~~沿x轴的区域值得注意的是，五个图像的标准偏差（SD）都在35 nm以内（参见图2（c）的右图）。因此，波长分辨率不受实际像素大小的限制（即，~1.6l m）或衍射极限（k/（2NA），对于入射波，范围为2.04至2.50l m从560到680 nm调谐的长度），但是通过提取的质心定位区域（即，<35 nm 85 nm），这远远超出了这个4光学显微镜系统的光学分辨率。例如，在560和590 nm波长处的两个定位位置的空间距离约为8.8 μ m（由图1中的虚线和箭头指示）。 2（c））。考虑到质心定位在这两个波长的SD，可以得到该成像器的波长分辨率。 接下来，我们将进行更精细的控制实验，以揭示这种彩虹定位成像光谱仪的波长识别能力。为了揭示被捕获的彩虹用于质心定位的潜力，我们制造了一种具有小得多的周期变化的新结构（即，从460到540 nm，具有步长1nm）。如图3（a）所示，我们调整了峰值波长，从548.0到549.5nm的入射光，步长为0.3 nm.这种波长偏移分辨率接近本实验中使用的光纤光谱仪的极限[40]。在这六个精细分离的波长的照射下，我们使用4个物镜记录了渐变光栅的暗条，如图3（a）的右图所示。如这些原始图像所示，肉眼难以分辨暗条的空间偏移（详细图像见附录A中的图S7）。相比之下，图11中绘制了暗条的质心定位。 3（b）款。值得注意的是，这些质心定位可以清楚地分离，没有空间重叠，如图3（b）的下图所示。当入射波长从548.0调整到549.5 nm时，质心偏移约0.74像素，估计波长偏移分辨率为0.032 nm（详见附录A第S8节表S1检测的空间SD的三倍）约为0.0766l m-much小于该4×显微镜的像素尺寸或衍射极限（1.61和2.12我，）-揭示了与质心数据处理方法配对的彩虹捕获光栅结构的超分辨率能力。为了进一步揭示波长分辨率，我们使用了一个20长工作距离的物镜来观察被捕获的彩虹。在这种情况下，每个像素对应于大约0.32μm的尺寸。透镜的NA为0.25，对应于约14.48°的最大入射角。因此，由于不同的耦合和收集角，暗条区域与4物镜观察到的暗条区域略有不同，如图所示。 3（c）. 为了将暗条调整到样品的中心，我们将入射光的峰值波长从539.0至540.5 nm，步长为0.3 nm。图3（d）中绘出了相应的质心定位，表明当入射波长调谐1.5 nm时，总位移约为0.39 lm。值得注意的是，该图像中的质心定位区域的SD优于4成像系统。在该20物镜下观察到的波长分辨率约为0.029 nm（详见附录A第S8节表S2）。这一结果表明，可以提高分辨率与物镜的放大率更高。作为对照实验，我们还表征了由商业光纤图3.第三章。陷波彩虹定域显微光谱仪的光谱位移分辨率（(b) 每个波长下50帧的质心定位（上图）和平均质心位置及其相应SD（下图;详见表S1）;(c) 左图是峰值范围为539.0 - 540.5 nm的入射光的测量光谱，右图是20×显微镜反射图像;（d）每个波长的质心定位（上图）和平均质心位置（下图）。（(i)彩虹表面光栅图案在4×（蓝色曲线）和20×（红色曲线）物镜下响应于不同浓度的甘油（G）-水溶液的实时质心移动L. Zhou，N.Zhang，C.C.Hsu等人工程17（2022）7579~××¼×××××× ××××××××光谱仪测得光谱的SD约为0.047 nm（对应于0.020 nm的波长偏移分辨率;详见附录A第S9节表S5因此，我们的彩虹光栅结构可以实现类似的波长偏移分辨率与商业光谱仪时，实施基于质心的处理重要的是，区别特征是来自非常小的区域（即，彩虹光栅面积在30μ m ~64μ m的范围内，50l m 250l m，即，0.00192基于成像的片上光谱仪，的2D光谱成像，这是具有挑战性的实现使用同样的芯片。在一条窄光带的照射下在650 nm处，在液体环境中同时观察到所有四个光栅上的暗条。在传感器表面上引入一系列层，以实现选择性传感（图4（c）;参见第S12节中的表面处理细节）。在此过程中，每隔15秒由远场成像仪记录四个传感器单元的反射图像以监测表面结合事件。通过提取暗条的质心位置，通过以下公式计算外泌体EGFR的表达：传统的光纤光谱仪。EPEGFR β外泌体-PPBSPPBS-P水ð1Þ4.2. 折射率传感为了证明这种彩虹捕获芯片如何应用于表面生物传感，我们制造了一种新的渐变光栅，其周期从400 nm变化到490 nm（观察结果示于图1A和1B）。 3（e）-（h））。 如图1和图2中的右图所示。在图3（e）和（g）中，在696-701 nm光（对于4个物镜，图3（e））和636- 641 nm光（对于20个物镜，图3（g））的照射下，将暗条调谐到水环境中的结构的中心。结果，估计的波长偏移分辨率约为0.047 nm（对于图3（f）中的4个物镜;参见附录A中的章节S8中的表S3中的细节）和约0.033 nm（对于图3（h）中的20个物镜;参见附录A中的章节S8中的表S4中的细节），其略大于空气环境中的计算分辨率（即，图3（b）和（d）），这是由于液体环境中的较大波动。接下来，我们引入了一系列甘油-水溶液（即，0%、3%、6%和9%），以调节液体环境的折射率（参见附录A第S10节中的实验细节如图3（i）所示，质心位置随着体折射率在0%和9%之间变化而观察到的数据噪声通过20×物镜（红色曲线）观察到的反射率为0.0131L m，这略好于通过4×物镜观察到的反射率（即，0.0405l m，蓝色曲线）。由于每个帧的数据采集时间（即，0.2 S帧-1）和相邻帧之间的等待时段（即，15s）都比体折射率快折射率变化速度快，能准确反映体折射率变化曲线实验结果表明，在4个物镜和20个物镜的情况下，体折射率传感分辨率分别为3.29 ×10- 4考虑到0.002 mm2的传感器面积，该芯片有望用于生物传感应用。更具体地说，在20物镜的观察下，预计可分辨约500个外来体（参见附录A第S11节中的估计详情使用更高端的光源和具有更低噪声的相机可以实现更好的感测性能接下来，我们采用这种芯片成像仪来证明生物分子的特异性传感（即，外泌体）。4.3. 外泌体表皮生长因子受体芯片检测技术在肺癌诊断中的在最近的研究中，外泌体表皮生长因子受体（EGFR）已被证明是肺癌诊断的有希望的生物标志物[41在此，我们使用肺癌作为疾病模型，外泌体EGFR作为生物标志物，证明了彩虹捕获芯片在癌症诊断中的潜在应用（图4（a）;详见附录A第S12节）。如图4（b）所示，在200nm上制造了2 × 2渐变光栅阵列（总共四个传感器单元，周期从400 nm变化到490 nm）。其中P水、PPBS和PEGFR+外泌体分别是水、聚（丁二酸丁二醇酯）（PBS）以及EGFR和外泌体的质心位置。P水和PPBS之间的差异用作归一化因子以使芯片间差异最小化。首先测量来自A549非小细胞肺癌（NSCLC）细胞的外来体中的EGFR表达（图4（d））。A549细胞来源的外来体，浓度为2每毫升10个（外泌体10mL-1）流过生物芯片。基于质心移动，确定外泌体EGFR表达水平开采为0.3357，具有10.39的高信噪比对于A549细胞来源的外泌体，彩虹捕获芯片达到了1.92× 109外泌体μmL-1的分辨率，这表明它可能需要少至1 L的血清样品用于检测外泌酸，正常的EGFR，因为血清中典型的外泌体浓度是51012个外泌体μmL-1。接下来，测量了来自三名健康对照和三名NSCLC患者的血清样品中的外来体EGFR水平（人类受试者的特征提供于附录A第S13节中的表S6中从80μ L人血清样品中分离外泌体，重悬于100μ L PBS中，并以6× 10- 10外泌体μmL-1的浓度流过生物芯片。来自一个传感器单元的一个健康对照和一个NSCLC患者的代表性实时质心运动曲线如图所示。 4（e）（另见附录A第S14节中的所有数据）。一个明显在NSCLC患者样品中观察到质心偏移，而在健康对照样品中观察到很小的质心偏移。与此2 - 2梯度光栅阵列，四个测量从四个传感器单元同时进行每个样品，以提高传感精度。如图4（f）所示，对于所有6份人血清样本，观察到4个传感器单元的结果之间具有良好的一致性（变异系数20%）。来自NSCLC患者的血清中的外泌体EGFR的平均表达为0.99（由图4（g）中的绿线指示），其比来自健康对照的血清中的外泌体EGFR的平均表达高约8.25倍（由图4（g）中的橙色线指示）。因此，彩虹捕获芯片使用外泌体EGFR作为生物标志物成功地将NSCLC患者与健康对照区分开。此外，这些彩虹捕获超颖表面芯片可以很容易地清洁而不会损坏纳米结构，并且已经显示出优异的重复使用再生能力（更多细节参见附录A中的第S15节）。这些结果表明，等离子体彩虹捕获超表面结构具有实现用于癌症诊断的外泌体蛋白质生物标志物的超灵敏和特异性感测的巨大潜力[46]，特别是使用在日常生活中方便评估的廉价光学系统（例如，参考文献[47，48]）。5. 结论总之，我们已经开发了一种等离子体分级metasur-面芯片，以捕获L. Zhou，N.Zhang，C.C.Hsu等人工程17（2022）7580××××图四、用于肺癌诊断的传感器阵列（a）用于肺癌诊断的彩虹捕获超颖表面的示意图（b）具有四个相同渐变超颖表面结构的传感器阵列的SEM图像(c)具有捕获的EGFR和外来体（PEG：聚乙二醇）的表面光栅的示意图。（d，e）质心位移对（d）A549和（e）健康对照1（蓝色曲线）和患者1（红色曲线）样品外泌体吸附在传感器表面上的(f)通过芯片上的四个传感器单元测量健康对照和NSCLC患者样品的外泌体EGFR表达。(g)健康对照和NSCLC患者样品的平均外泌体EGFR表达。橙色和绿色条表示每组中三个样品的平均值。外泌体EGFR的表达显著高于在NSCLC患者样本中观察到比健康对照组中的差异（n= 3;*p 0.05）。域通过提取被捕获的表面等离子体波的数值质心，展示了用于超分辨率位移光谱分析和表面生物传感的小型化基于成像仪的平台。用4倍光学显微镜系统，可分辨出35 nm内的共振位置位移，相应的波长位移光谱分辨率为0.032nm，折射率变化为5 × 10值得注意的是，这种独特的彩虹捕获成像芯片的尺寸在0.00192-这种基于低设置成像的光谱芯片用于检测A549衍生的外来体与传感分辨率1.92109外泌体μmL-l。 此外，我们还聘请了22该研究表明，彩虹芯片阵列使用外泌体EGFR表达将癌症患者与健康对照样品区分开，从而成功地证明了芯片尽管制造技术的准确性为宽光谱范围（从可见光到电信）的更广泛应用设置了障碍[6-此外，通过使用可缩放模板剥离工艺，可以克服成本障碍并提高渐变光栅的表面平滑度，以改善SPP模式（例如，参考文献[49]）。重要的是，这种基于成像的光谱位移策略完全适用于机器学习算法（如目前在研究），并可能导致智能手机上的智能光谱芯片，用于个性化的精确生物或化学传感应用[50]。致谢这项工作得到了国家科学基金会（ECCS-1807463和PFI-1718177）和UB蓝天计划的部分支持。我们感谢Dylan Tua先生就技术细节进行了有益的讨论。作者还感谢美国国立卫生研究院（NIH）国家癌症研究所（NCI）的资金支持（R21CA235305）。本研究的未识别人血清样本及其临床数据由数据库和生物储存库（DBBR）提供，该数据库和生物储存库由NCI（P30CA16056）资助，是Roswell Park癌症研究所癌症中心支持赠款共享资源。内容完全由作者负责，不一定代表NIH的官方观点。作者感谢国家科学基金会（CBET-1337860）的支持，该基金会资助了纳米颗粒跟踪分析系统（NanoSight，LM 10，MalvernInstruments，Ltd.）。作者甘巧强构思了这个想法，并监督了这个项目。Lyu Zhou、NanZhang、Chang Chieh Hsu、Matthew Singer和Yizheng Li执行了实验。张杰旭和云武准备生物样本。所有作者都对实验结果的分析和建模做出了贡献。吕舟，L. Zhou，N.Zhang，C.C.Hsu等人工程17（2022）7581张楠、马修·辛格、约瑟普·乔内特、吴云和甘巧强撰写了这份手稿。所有作者均审查了手稿。Lyu Zhou和Nan Zhang是共同第一作者，贡献相等。遵守道德操守准则吕周、张楠、徐昌杰、Matthew Singer、谢增、李毅正、宋浩民、Josep Jornet、吴云和甘巧强声明，他们没有利益冲突或财务冲突需要披露。附录A.补充数据本文的补充数据可在https://doi.org/10.1016/j.eng.2022.03.018上找到。引用[1] Tsakmakidis KL ， Hess O ， Boyd RW ， Zhang X. 纳 米 级 的 超 声 波 。 Science2017;358（6361）：eaan5196.[2] 高志，吴玲，高芳，罗毅，张波。欺骗等离子体：从超材料概念到拓扑描述。AdvMater2018;30（31）：1706683.[3] TsakmakidisKL，Pickering TW，Hamm JM，Page AF，Hess O. 等离子体波导中的完全停止和无色散光。物理学评论快报2014;112（16）：167401。[4] 巴巴·T光子晶体中的慢光。Nat Photonics2008;2（8）：465-73.[5] TsakmakidisKL，Boardman AD，Hess O. 超材料中光的“被困彩虹”存储。Nature2007;450（7168）：397-401.[6] Gan Q，Fu Z，Ding YJ，Bartoli FJ.基于太赫兹等离子体梯度金属光栅结构的超宽带慢光系统。物理学评论快报2008;100（25）：256803。[7] Gan Q，Ding YJ，Bartoli FJ.“彩 虹 ” 捕 获 并 释 放 在 电 信 波 长 。 物理学 评 论 快报2009;102（5）：056801。[8] Gan Q，Gao Y，Wagner K，Vezenov D，Ding YJ，Bartoli FJ.绝热等离子体光栅中彩虹捕获效应的实验验证。Proc Natl Acad Sci USA 2011;108（13）：5169-73.[9] GanQ，Bartoli FJ. 平面等离子体啁啾光栅实现完全可见彩虹捕获的表面色散工程。应用物理学报2011;98（25）：251103.[10] 李文辉，李文辉.用于中红外光子学和生物传感的晶圆级功能超颖表面。Adv Mater2021;33（43）：2102232。[11] TsakmakidisKL，BaskourelosK，Stefan'skiT. 超越时间带宽限制的拓扑、非互易和多共振慢光。应用物理学报2021;119（19）：190501。[12] TsakmakidisKL，Hess O. 超材料中光的极端控制：光的完全和无损失停止。物理B2021;407（20）：4066-9。[13] 李军，于平，张顺，刘宁。用于光投影显示器的电控数字超颖表面装置. 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