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工程科学与技术,国际期刊19(2016)956完整文章MOCVD沉积氮掺杂ZnO薄膜的干接触美国姆巴马拉湾Olo finjanab,c,*,O.O.Ajayic,C.Lorenzo-Martinc,E.I.奥比亚琼瓦d,E.O.B. Ajayiba尼日利亚奥韦里联邦理工大学物理系b尼日利亚Ile-Ife Obafemi Awolowo大学物理和工程物理系c Argonne国家实验室摩擦学科,9700 S。 Cass Avenue,Argonne,IL 60439,USAd Obafemi Awolowo University,Ile-Ife,尼日利亚能源研究与开发中心A R T I C L E I N F OA B S不 R 一C T文章历史记录:收到日期:2015年10月13日收到日期:2015年2016年1月6日接受2016年2月1日在线发布保留字:薄膜摩擦磨损光学显微术掺杂ZnO薄膜的研究主要集中在光电子和半导体器件方面对它们的摩擦学性能的研究仍在进行中。本文采用MOCVD技术,以乙酸锌和乙酸铵为前驱体,在304 L不锈钢衬底上制备了掺氮ZnO薄膜使用卢瑟福背散射光谱(RBS)和X射线衍射(XRD)对薄膜的组成和结构进行了研究薄膜涂层的摩擦行为是在干接触条件下使用往复滑动的球对球配置进行评价的在摩擦试验后,对球和球的相对表面进行检查,以评估磨损尺寸和失效机制。观察到摩擦行为和磨损(在球对立面)都取决于薄膜涂层的结晶度和厚度© 2016,Karabuk University.出版社:Elsevier B.V.1. 介绍多年来,科学技术的各个方面都对摩擦和磨损控制提出了很高的要求这是因为在各种系统中损失了大量的能量此外,减少摩擦和磨损不仅带来节能和效率,还提高了可靠性和耐用性,最终带来客户满意度。有许多方法已被用于减少摩擦和磨损。在移动表面之间应用润滑剂由于工程材料的摩擦、磨损和疲劳失效往往发生在材料的表面,因此对材料表面进行改性处理对降低摩擦磨损具有重要作用。表面改性采用的技术包括但不限于渗碳[1,2]、等离子渗氮[3,4]、离子注入[5,6]、表面纹理化[7,8]、激光表面改性[9]和薄膜涂层[10存在各种薄膜涂层,并且通常存在适合于给定工程应用的涂层。在摩擦学* 通讯作者。联系电话:+234 8066762570。电子邮件地址:olofinnb@oauife.edu.ng(B. Olofinjana)。由Karabuk大学负责进行同行审查http://dx.doi.org/10.1016/j.jestch.2016.01.0032215-0986/© 2016,Karabuk University.出版社:Elsevier B.V.在应用中,涂层需要具有低剪切强度,以便承载相对表面之间产生的压力,从而允许更容易滑动。已经开发了满足该限制的各种各样的涂层,并且这些涂层可以被分为软金属涂层、过渡金属二硫属化物涂层、碳基涂层、氧化物涂层、硫酸盐涂层和聚合物涂层等。迄今为止,对掺杂ZnO薄膜的研究主要集中在其在紫外光发射器、透明大功率电子器件、声表面波器件、压电换能器等方面的应用ZnO的开放结构和良好的配位数可以允许容纳外部原子作为锌或氧的替代物。这允许通过掺杂形成缺陷,这可以导致形成可以改变电子结构并降低剪切强度的滑移系统。氧化铝掺杂ZnO薄膜涂层已被证明具有较低的摩擦系数和比纯ZnO薄膜涂层更好的磨损性能[13]。此外,将ZnO与有机聚合物如尼龙和聚酰亚胺复合也显示出改善摩擦学性能[14采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术,以乙酸锌和乙酸铵为前驱体,组成方面和出版社:Karabuk University,PressUnit ISSN(印刷版):1302-0056 ISSN(在线):2215-0986 ISSN(电子邮件):1308-2043主 办可 在 www.sciencedirect.com上 在 线ScienceDirect可在ScienceDirect上获得目录列表工程科学与技术国际期刊杂志主页:http://www.elsevier.com/locate/jestch美国Mbamara等人/工程科学与技术,国际期刊19(2016)956957表1用于沉积薄膜的前体的各种组合。涂料前体组合A0100%醋酸A1 90%乙酸锌和10%乙酸A2 80%乙酸锌和20%乙酸A3 70%乙酸锌和30%乙酸A4 60%醋酸锌和40%醋酸使用卢瑟福背散射光谱(RBS)和X射线衍射(XRD)进行膜的结构研究。在干接触条件下,借助高频往复试验台(HFRR),采用往复滑动中的球对球结构评价薄膜涂层的摩擦行为。在摩擦试验后,还检查了摩擦片和滚珠对置面表面,以评估磨损尺寸和失效机制。2. 材料和方法2.1. 膜沉积采用MOCVD技术中的热解法在304 L不锈钢上沉积了薄膜涂层所用的前体是不同比例的乙酸锌和乙酸铵的组合。在沉积温度为420 °C、气体流速为2.5dm3/min、沉积时间为2 h的条件下,使用不同比例的乙酸锌和乙酸铵制备了五组涂层。为便于识别,将涂层指定为A0、A1、A2、A3和A4。表1示出了所使用的前体的各种组合。涂层A0用作其它涂层的对照形式,因为使用纯乙酸锌作为前体。2.2. 薄膜表征卢瑟福背散射光谱(RBS)用于确定薄膜涂层的化学计量和厚度。RBS设施是IBM几何形状的1.7 MeV串列加速器,即入射光束、表面法线和检测光束都共面的散射配置。入射束为He+,束流为3.8 nA。SIMNRA软件用于分析从RBS设施的硅检测器提取的光谱。用MD-10微型衍射仪测定了薄膜涂层的晶体结构。 使用Cu-Kα辐射作为辐射源。施加的电压为25kV,暴露时间为1200秒。化学物相鉴定是使用嵌入粉末衍射文件(PDF)的计算机系统进行的。国际衍射中心的数据库也用于比较薄膜的XRD图案在15°-50°的2θ范围内收集强度数据2.3. 摩擦磨损试验摩擦试验采用高频往复试验机(HFRR),在往复滑动条件下图1所示为所用HFRR的触点配置示意图。球对端面试样是直径为12.7 mm的Al合金2017。球硬度为1.2 GPa(66 RB),弹性模量(E)为72.4 GPa,泊松比(V)为0.3。测试了六个涂层样品-具有类似于涂层的各向同性饰面的涂层的表面特性已在早期报告[18];然而,表2显示了涂层的二维粗糙度数据(Ra)。Fig. 1. 接触处往复式球对球示意图对于每次试验,将球帽和球试样安装在各自的支架上并固定在试验台上。通过施加10 N的自重来启动负载,其施加0.35 GPa的标称赫兹接触压力,同时将行程长度设定为往复速度为60rpm,测试时间为10分钟。在每次试验的整个过程中连续监测摩擦力(F)采用计算机数据采集系统,以较高的采集速率记录滑动摩擦力F然后计算摩擦系数(μ),定义为摩擦力(F)与法向力(N)在每次测试结束时,分别通过光学显微镜和光学轮廓仪测量球和球试样的磨损尺寸。还检查磨损表面以评估磨损机制。3. 结果和讨论3.1. 成分研究和厚度分析RBS进行了成分研究和厚度分析对照涂层(A0)的RBS光谱见图10。2(a). 检测到预期元素锌和氧,锌与氧的比例为1:1。该比例与纯晶体ZnO的元素组成一致。由乙酸锌和乙酸铵前体的各种组合得到的其他涂层的RBS光谱都是相似的。图2(b)示出了氮掺杂的ZnO的典型光谱。Zn、O和N的存在清楚地显示出来。两个光谱都描绘了两个不同的部分,即以1450 keV能量为中心的基底部分和涂层部分模拟光谱是基于环境元素分析软件数据库中的假设数据。然后根据模拟的光谱,从样品的读取数据的特征。检测到的每种元素都与数据库进行匹配掺杂的氧化锌涂层的化学计量相对于前体中乙酸锌和乙酸铵的比例没有表现出特定的趋势。每个掺杂的氧化锌涂层给出了5:4:1的大致一致的Zn:O:N比,与主要前体中乙酸铵(提供氮)的百分比Mbamara等人2012年[19]表2涂层的2D粗糙度数据(Ra)。涂层粗糙度Ra(nm)A0200.91A1203.95A2164.14A3145.76A4121.93958美国Mbamara等人/工程科学与技术,国际期刊19(2016)9560120010008006004002000.2能量(x10“3“keV)1.01.21.41.61.800 50 100 150 200 250 300 350400信道(一)图三. 从RBS获得的涂层厚度。01200100080060040020000.2能量(x10“3“ keV)1.0 1.2 1.41.61.8可能是随着乙酸铵的比例降低,动力学反应过程增加3.2. 薄膜的晶体结构涂层的X射线衍射光谱如图4(对于涂层A0,峰出现在衍射角:2θ = 30.40°、32.66°和34.72°。峰值30.40°对应于(100)与(002)面成32.66°,与(101)面成34.72°。这些峰的存在表明涂层是具有六角结构的结晶ZnO。(002)线的优势表明其中c轴优先垂直于衬底排列的织构。对于掺杂的ZnO薄膜,随着掺杂组分的增加,峰值逐渐增加,同时出现了与六方ZnO的(100),(101)和(002)面相对应的结构0 50 100 150 200 250 300 350 400信道(b)第(1)款图二. (a)ZnO和(b)典型氮掺杂ZnO薄膜的RBS光谱。提出了在前体中乙酸锌与乙酸铵的比率中存在阈值的可能性,超过该阈值,氮的量不会变化。尽管这仍需要进一步研究,但这种阈值可能是个位数百分比或甚至更小。由于重点是氮作为ZnO薄膜中的掺杂剂,因此建议在后续研究中使用百分之一或更少的乙酸铵。根据RBS计算的厚度趋势如图所示。3.第三章。涂层A4具有最低的厚度,甚至低于纯ZnO的涂层A0。然而,所有涂层的厚度均小于1 μm。对于掺杂的样品,似乎存在厚度的趋势,其中厚度在最低前体掺杂剂百分比时最高,并且随着掺杂剂百分比增加而逐渐降低似乎前体中掺杂剂的存在明显地改变了沉积颗粒彼此的结合性和内聚力。由此,很明显,热区中的成核速率取决于前体中的掺杂剂浓度。随着前体掺杂剂的浓度增加,热室中的化学反应速率可能受到阻碍。另一方面,MOCVD技术比扩散依赖性更依赖于动力学[20],在不同的衍射角下的环。这表明,结晶度随着掺杂剂组分的增加而增加。早先曾报道,与未掺杂材料相比,ZnO中作为掺杂剂的氮的存在导致掺杂材料的结晶度较低[21,22]。与厚度相比,可以看出结晶度随着厚度的减小而增加也许在沉积过程中的某个时刻,表面变得充满微晶,而进一步的成核和径向生长停止,使微晶呈现柱状结构[23]。结晶度似乎已被控制的前体混合物,这最终导致不同的微观结构。MOCVD涉及在气相中发生的均相气相反应,以及在加热的衬底上或附近发生的非均相化学反应,导致膜的形成。物理和化学性质也可以通过工作室中的反应化学来控制,并且这取决于许多因素,例如沉积温度、压力、气体流速、反应器几何形状等。3.3. 摩擦行为试验过程中摩擦力随时间的变化如图5所示。未涂覆的基材的摩擦系数从0.01的值开始,并迅速跳到0.44的值。此后,该值在0.36和0.46之间,最高值出现在523秒左右。这种摩擦行为是由于接触所表现出的广泛的材料相互作用的结果模拟光谱ZnO光谱模拟ZnO钠铁铝钙ZnONSi计数计数美国Mbamara等人/工程科学与技术,国际期刊19(2016)956959(a)(b)第(1)款(c)(d)其他事项(e)见图4。 涂层(a)A0、(b)A1、(c)A2、(d)A3和(e)A4的XRD光谱。0.60.50.40.30.20.10.00 100 200 300 400 500 600700时间(秒)干接触条件下的滑动表面。滑动可能导致接触表面处的高剪切应力和应变,导致高摩擦系数和极端情况下的强烈塑性变形[24]。涂层A0开始时的摩擦系数为0.13,并迅速增加到0.38。然后摩擦系数下降到0.29,并且几乎立即上升,在测试的剩余持续时间内范围在0.35和0.41之间。对于涂层A1,摩擦系数从0.02的值开始并迅速上升到0.41的值。对于其余测试,该值的范围在0.38和0.47之间。涂层A2以0.05的摩擦系数开始。然后在测试期间保持0.28至0.47之间的值。涂层A3的摩擦系数从0.02的值开始然后,它增加到0.22和0.37范围内的值。在涂层A4的情况下,摩擦系数从原点开始,迅速增加,并在试验结束时达到0.44的最大值。总之,涂层A3显示出最低的摩擦系数值,与未涂覆的基材相比,摩擦系数值显著降低。所有涂层的摩擦行为的趋势是相同的。所有试验以相对较低的摩擦系数值开始图五. 滑动过程中摩擦系数作为时间的函数然后迅速过渡到较高的摩擦系数值。这摩擦系数基板A0A1A2A3A4960美国Mbamara等人/工程科学与技术,国际期刊19(2016)956见图6。整个试验期间的平均摩擦系数。向更高摩擦系数值的转变与涂层的磨损一致氧化物薄膜涂层碎片作为接触界面的第三体参与者的动力学开始发挥作用。氧化物通常具有高摩擦力,并且它们固有地易碎,形成磨料磨损碎屑[25在最初的摩擦之后,薄膜破裂并且“干净”的表面与球接触,在该初始阶段之后,磨损碎屑可以被捕获在滑动接触之间,从而在接触之间充当磨料[28]。这使相对面变粗糙,然后导致摩擦值的高系数。图图6显示了所有试验样品的平均摩擦系数。平均摩擦系数涵盖整个试验持续时间,包括磨合和稳态。因此,它不代表样品的真实摩擦行为摩擦转变作为时间的函数,往往反映了机理或表面损伤的变化和转变,在图中没有准确反映。涂层A3的摩擦系数最低,而其它涂层的摩擦系数较高,涂层A1的摩擦系数甚至高于基体。尽管已经确定所有的氮掺杂涂层具有相同的化学计量比,但是摩擦行为的差异可能是由于它们的结晶度和厚度。由不同微结构产生的不同堆叠这将反过来导致材料转移量的差异,从而导致摩擦和磨损。此外,涂层厚度的增加可能导致更大的残余拉伸应力的积累,这可能影响薄膜与基材的粘附3.4. 磨损分析使用表达式[29]估计从球对立面去除的材料(磨损)体积Vd464r其中d是球上的磨痕直径,r是球半径。当球半径为12.7 mm时,借助光学显微镜测量磨痕直径。图7(a)和(b)显示了未涂覆基底和典型涂层的球相对面的光学显微照片。图8中显示了所有抛光样品的球配合面的磨损体积总结。球的磨损行为(一)(b)第(1)款见图7。(a)未涂覆基材和(b)典型涂层的球对立面的光学显微照片。对于每一对来说,用于双金属样品的相对面与摩擦行为强烈相关涂层A3具有最低的磨损体积,而其他涂层的球对立面上的磨损体积高于基底。这表明涂层A3在损坏发生之前实际上在一定程度上保护了球的相对面这是预期的平均摩擦系数,美国Mbamara等人/工程科学与技术,国际期刊19(2016)956961见图8。 所有可拆卸样品的钢球磨损体积总结。962美国Mbamara等人/工程科学与技术,国际期刊19(2016)956(一)(b)第(1)款见图9。摩擦试验后(a)基材和(b)典型涂层的光学显微照片涂层A3低于其它涂层。这将减少施加在涂层上的剪切应力,从而减少磨损[28]。其他涂层可能会更快地损坏和磨损,导致金属-金属接触,从而导致更高的摩擦和磨损系数。一些早期的工作人员也注意到氧化物薄膜涂层的缺点之一是它们本身易碎,导致在应力下形成裂纹,随后形成磨屑,这可能会对球的反作用面造成实质性损坏[26]。从光学显微照片中观察到,滚珠对端面磨损主要是通过磨损机制发生的,如滑动方向上的深划痕所示。在磨损痕迹中也可以看到一些暗斑这表明,磨损也发生了氧化层的形成和去除。然而,主要机制是磨损,因为氧化物形成和去除机制似乎非常小。当软球相对面移动通过衬垫时,发生变形,在球表面引起高张力和应力,直到它们超过材料强度,从而导致材料分离(磨损)。通过研磨机制[30图9(a)和图9(b)示出了在摩擦测试之后未涂覆的基底和典型的涂覆的涂层表面从美国Mbamara等人/工程科学与技术,国际期刊19(2016)956963(一)(b)第(1)款见图10。 (a)摩擦试验后基材的3D和(b)2D光学轮廓。从显微照片中可以看出,尽管可以看出所有涂层实际上可能由于抛光而磨损,并且在某些情况下可能在滑动的初始阶段发生轻微磨损,但在滑动垫中没有发生整体材料去除(磨损),在滑动过程中发生的来自球对立面的材料转移的不同机制和动力学,甚至可能这也可以解释为什么摩擦系数最初很低,随后上升到金属-金属相互作用的典型值涂层失效产生的涂层碎屑(具有磨蚀性)的犁削作用也可能增加摩擦力[28]。随后,发生从球对立面到部分暴露的不锈钢衬底的材料转移。由于磨损体积是行程长度和磨损横截面积的乘积,因此在往复滑动试验后,通过2D轮廓测量的磨损轨迹横截面积确定了材料转移到垫片上的相对量。图图10和图11显示了2D和3D光学轮廓 摩擦试验后未涂覆的涂层样品和典型涂层的对比。试样的所有表面轮廓都清楚地显示出滑动过程中大量材料堆积的输送到输送机的物料总量如图所示。 12个。最高的转移发生在未涂覆的基底中,而在涂层中,A2在其上具有最高的材料与球上的磨损体积一致,A3上的材料转移最低。这表明涂层A3在一定程度上保护了球的实际上,由涂层的不同微观结构引起的不同堆叠可能导致相互作用在涂层和球表面粗糙体之间964美国Mbamara等人/工程科学与技术,国际期刊19(2016)956(一)(b)第(1)款图11. 摩擦试验后典型涂层的(a)3D和(b)2D光学轮廓。4. 结论采用MOCVD技术,以不同比例的乙酸锌和乙酸铵为前驱体,在沉积温度为420 °C,气体流速为2.5dm3/ min的条件下,在304 L不锈钢基体上RBS和XRD分析用于成分研究、厚度估计和结构确定。虽然RBS证实了预期元素的存在,但氮掺杂的ZnO显示出一致的Zn:O:N比为5:4:1,与前体中乙酸铵的百分比无关。此外,涂层厚度显示出对图12. 所有样品的材料转移量。前体中乙酸铵的百分比随着掺杂剂百分比的增加厚度逐渐降低。XRD测试表明薄膜为六方晶系晶体结构。结晶度也被发现取决于前体中乙酸铵的百分比。在未涂覆的304 L不锈钢基材(其用作基线)和所有涂层上进行往复式球对球摩擦测试。涂层在试验期间表现出不同的摩擦系数。除了涂层A3之外,这些涂层对摩擦具有最小的影响或没有影响。摩擦行为的差异归因于薄膜所表现出的结晶度和厚度差异导致所有涂层样品的球对立面的磨损行为与每对的摩擦行为密切相关,涂层A3具有最低的球磨损体积。结果表明,样品A3具有在沉积参数下获得具有低摩擦和磨损质量的良好粘附膜的最佳前体组合物总的来说,磨损在球对立面发生主要是由磨料机制。在所有试验中,涂层在滑动的初始阶段磨损,随后发生材料从球对立面转移到部分暴露的不锈钢基底。可以设想,在涉及304 L不锈钢和2017铝合金对的应用中,其中摩擦和磨损是关注的,具有良好的化学计量组成、厚度和微观结构的氮掺杂ZnO涂层,以及良好的粘附性能,可能是一个可行的选择。光摩擦学应用如显示单元和电子触摸板也是掺杂薄膜的可能使用领域。致谢作者要感谢尼日利亚Ile-Ife的Obafemi Awolowo大学能源研究与发展中心使用他们的RBS和XRD设备。作者之一(BO)希望感谢美国阿贡国家实验室摩擦学部门的成员在进行摩擦和磨损试验时提供的帮助引用[1] 张文忠,高晓松,高强度不锈钢的摩擦学性能研 究 , 机 械 工 程 学 报 ,2007年,第263期,第719页。[2] F.S. Chen,C.N.张,甲烷添加对奥氏体不锈钢离子氮碳共渗的影响,Surf。外套173(2003)9。[3] B.杨文,等离子体渗氮与脉冲渗氮对AISI 4140钢摩擦学性能的影响,硕士论文。外套Technol. 454.第108[4] Y. Xia,J.Hu,F.Zhou,Y.Lin,Y.Qiao,T.徐,等离子渗氮1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢在润滑条件下的摩擦磨损行为,材料与工程学报,2004。Sci.结构材料工程师402(2005)135.[5] M.K. Lei,X.M. Zhu,等离子体基低能离子注入改善奥氏体不锈钢的耐磨性和耐腐蚀性,Surf。外套22.第193(2005)号来文。[6] M. Samandi,文学士Sheddan,D.I.等离子体浸没离子注入奥氏体钢的微观结构、腐蚀和摩擦学行为,Surf。外套第261章.[7] M. Wakuda,Y. Yamauchi,S. Kanzaki,Y.张文龙,表面粗糙度对陶瓷与钢材料间摩擦力的影响,摩擦学杂志,2003年,第254卷,第356页。[8] X. Wang,K.Kato,K.阿达奇角,澳-地Aizawa,SiC表面激光织构化对水润滑模式从流体动力学到混合的转变的临界载荷的影响,Tribol. Int.34(2001)703.[9] S.H. Aldaja,O.O. Ajayi,G.R. Fenske,Z.徐,激光表面改性对1080碳钢摩擦学性能的影响,J。Tribol 127(2005)596。[10] W. Gulbinski,T. Suszko,MoO3-Ag 2 O二元氧化物薄膜-高温润滑剂,磨损261(2006)867。[11] T. Kubart,T.波尔卡湖科佩基河Novak,D.Novakova,MoS2和MoSe 2涂层摩擦学性能的温度依赖性,Surf.外套第230节.[12] S.W. 高分子材料摩擦学研究进展,北京:摩擦学出版社。Int. 31(1998)49.美国Mbamara等人/工程科学与技术,国际期刊19(2016)956965[13] S.V. Prasad,J.J. Nainaparamandi,J.S. Zabinski,脉冲激光沉积法生长氧化铝掺杂氧化锌薄膜的摩擦学行为,J. Vac. Sci. Technol. A 20(2002)1738。[14] B. Liu,Z.杨军,周俊,聚酰亚胺/氧化锌杂化膜的摩擦学性能,材料与工程学报。第105-106(2010)号决议[15] W. Shibo,G. Shirong,Z. Dekun,填充氧化锌颗粒和晶须的尼龙复合材料的摩擦学行为比较,磨损266(2009)248。[16] H. 查克拉博蒂A.Sinha,N.Mukherjee,D.雷,P.P.Chattopadhyay,多功能ZnO/PMMA纳米复合材料的纳米压痕和摩擦学行为研究,Mater. Lett. 93(2013)137.[17] B.P. Chang,H.M.Akil,R.B.M.Nasir,干滑动条件下微米和纳米ZnO增强UHMWPE复合材料的比较研究,磨损297(2013)1120。[18] 美 国 姆 巴 马 拉 湾 奥 洛 芬 贾 纳 角 Lorenzo-Martin , O. O.Ajayi ,E.I.Obiajunwa,E.O.B.陈晓,等离子体化学气相沉积法制备ZnO:N薄膜的研究进展,北京:科学出版社。纳能。1(2015)18.[19] 美国Mbamara,O.O.Akinwunmi,E.I.Obiajunwa,I.A.O.Ojo,E.O.B.陈晓,氮掺杂氧化锌薄膜的制备与表征,国立成功大学化学工程研究所硕士论文,2001。Mod. Phys. 3(2012)652。[20] B. 奥洛·芬亚纳Egharevba,B.A.Taleatu,O.O.Akinwunmi,E.O.B.陈晓,沉积温度对金属有机化学气相沉积硫化钼薄膜性能的影响,北京,科学出版社。Sci. Eng. B固态材料。Adv. Technol. 第4卷(2014年)第78页。[21] W. Xu,Z.是的,T.周湾赵湖,加-地朱军,黄俊,以氮氧化物为掺质源之低压金属有机化学气相沉积法成长p型氧化锌薄膜,结晶成长期刊265(2004)133。[22] S.T. Tan,B.J.陈晓文Sun,M.B.余祥辉Zhang,S.J.蔡,金属有机化学气相沉积实现本征p型氧化锌薄膜,J。电子学。Mater. 34(2005)1172。[23] D.M. 豪斯曼Gordon,铪和锆氧化物薄膜原子层沉积(ALD)中的表面形态和结晶度控制,J. Cryst. Growth 249(2003)251。[24] W.M. Rainforth,A.J.伦纳德角Perrin,A.贝多拉-雅昆德岛Wang,H. Jones等人,摩擦引起的氧化物及其与磨损表面相互作用的高分辨率观测。731.第731号一般性意见。[25] J.S. Zabinski,J.Corneille,S.V.Prasad,N.T.McDevitt,J.B.刘晓波,润滑氧化锌薄膜的合成、表征和摩擦学行为,北京:机械工程出版社。Mater. Sci. 32(1997)5313。[26] H. Mohseni,T.W. Scharf,原子层沉积ZnO/Al 2 O3/ZrO 2纳米层压材料改善碳-碳复合材料的耐热性和耐磨性,J. Vac. Sci. A 30(2012)1.[27] C. 志敏湖Xinchun,H.吴丹农,氧化锌薄膜的原子层沉积:纳米晶特性对摩擦学性能的影响,Surf。外套361.第361章意外的发现[28] C. Lorenzo-Martin,O. Ajayi,A.埃尔代米尔芬斯克河Wei,微观结构和厚度对CrN涂层摩擦磨损行为的影响,磨损302(2013)963.[29] K.L. 卢瑟福,I. M。Hutchings,曲面基底上PVD涂层的微尺度磨料磨损试验,Tribol。Lett. 2(1996年)[30] K. Holmberg,H.Ronkainen,A.Laukkanen,K.涂敷表面的摩擦和磨损-尺度,摩擦力学的建模和模拟,Surf。外套1034.第202(2007)号来文。[31] A.K.王志文,粗糙表面摩擦特性之研究,国立成功大学机械工程研究所硕士论文。Sci. Technol. 18(2015)463.[32] K.K. Alaneme,K.O.陈晓,氧化铝、稻壳灰和石墨增强铝基混杂复合材料的微观结构特征、力学和磨损行为,工程科学。第416章.
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