*** Error: CreateProcess failed, Command: '"D:\Keil_v5\ARM\ARMCLANG\Bin\ArmCC" --via ".\objects\stm32f10x_flash.__i"'

这个错误提示是由于在执行编译操作时，无法启动编译器进程造成的。可能的原因包括编译器路径不正确、编译器权限不足、编译器被占用等。您可以尝试以下方法解决该问题：
1. 检查编译器路径是否正确，确认编译器是否已正确安装。
2. 检查编译器权限是否足够，尝试以管理员身份运行。
3. 检查编译器是否被占用，尝试关闭其他占用编译器的程序。
如果以上方法都无法解决问题，可以尝试重新安装编译器或者更换其他编译器。如果问题仍然存在，请提供更详细的错误信息以及您使用的编译器和操作系统版本等信息，以便我们更好地帮助您解决问题。