半导体器件工艺中RIE是什么意思

时间: 2024-06-19 15:03:13 浏览: 20
RIE是一种半导体器件加工工艺,全称为反应离子刻蚀(Reactive Ion Etching),是一种利用离子轰击的方式来刻蚀材料表面的工艺。在RIE工艺中,将待加工的半导体器件放入真空室中,通过向室内注入一定气体,并加入高能离子,这些离子在电场的作用下加速,并与气体分子发生碰撞并激发出化学反应。这些反应产生的化学物质能够刻蚀掉半导体表面的材料,从而形成所需的结构和图形。RIE工艺具有刻蚀速率快、刻蚀深度均匀等优点,因此在半导体器件加工中得到广泛应用。
相关问题

.int_enable = CAN_WUIE_ENABLE | CAN_ERR_ALL_ENABLE | CAN_RIE_ENABLE | CAN_TIE_ENABLE, //interrupt enable 什么意思

在CAN控制器中,.int_enable是一个配置参数,用于设置CAN控制器的中断使能情况。其中,CAN_WUIE_ENABLE、CAN_ERR_ALL_ENABLE、CAN_RIE_ENABLE和CAN_TIE_ENABLE分别表示CAN控制器的不同类型的中断使能,具体含义如下: 1. CAN_WUIE_ENABLE表示CAN控制器的“唤醒中断”使能。当CAN控制器进入“睡眠模式”时,如果CAN总线上出现了唤醒信号,则CAN控制器会发出唤醒中断信号,以提示系统从睡眠模式中恢复。 2. CAN_ERR_ALL_ENABLE表示CAN控制器的“错误中断”使能。当CAN控制器在CAN总线上检测到错误情况时,会发出错误中断信号,以提示系统出现了错误情况。CAN_ERR_ALL_ENABLE表示使能CAN控制器检测所有类型的错误情况,包括传输错误、标志错误和接收错误等。 3. CAN_RIE_ENABLE表示CAN控制器的“接收中断”使能。当CAN控制器接收到CAN数据帧时,会发出接收中断信号,以提示系统接收到了数据帧。 4. CAN_TIE_ENABLE表示CAN控制器的“传输中断”使能。当CAN控制器传输CAN数据帧时,会发出传输中断信号,以提示系统数据帧传输完成。 在.int_enable参数中,这些中断使能位可以通过“|”运算进行组合,以实现同时使能多种类型的中断。例如,将CAN_WUIE_ENABLE、CAN_ERR_ALL_ENABLE、CAN_RIE_ENABLE和CAN_TIE_ENABLE分别设置为1,表示同时使能CAN控制器的唤醒中断、错误中断、接收中断和传输中断。 需要注意的是,中断的使能和处理需要在软件中进行相应的配置和编程,以实现系统的正常运行。

enet_interrupt_enable(ENET_DMA_INT_RIE);

enet_interrupt_enable(ENET_DMA_INT_RIE)是一个函数调用,用于启用以太网控制器的DMA接收中断。在嵌入式系统中,DMA接收中断通常用于通知应用程序有新的数据包已经接收到,需要及时处理。 ENET_DMA_INT_RIE是一个常量,它表示DMA接收中断的标识符。在以太网控制器中,通常有多个中断源,每个中断源都有一个唯一的标识符。通过传递ENET_DMA_INT_RIE参数,enet_interrupt_enable()函数可以确定要启用哪个中断源。 该函数的作用是启用以太网控制器的DMA接收中断,并允许中断向处理器发送中断请求。当以太网控制器接收到新的数据包时,会产生一个DMA接收中断,通知处理器有新的数据包需要处理。 需要注意的是,具体实现细节可能因不同的嵌入式系统而有所不同。因此,具体实现时需要参考相关的文档或代码示例。

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