氧化钒 MEMS和非晶硅 MEMS 红外探测器

氧化钒 MEMS 和非晶硅 MEMS 红外探测器都是 MEMS（微机电系统）技术应用于红外探测器领域的代表性产品。两者的主要区别在于材料和工艺。

氧化钒 MEMS 红外探测器采用氧化钒作为红外敏感材料，通过 MEMS 技术在硅基底上制造出微小的热电偶结构，用于测量红外辐射能量。氧化钒具有较高的热导率和较低的电阻率，因此能够快速响应红外辐射，具有快速响应、高灵敏度、低功耗等优点。

非晶硅 MEMS 红外探测器则采用非晶硅作为红外敏感材料，通过 MEMS 技术在硅基底上制造出微小的热敏电阻结构，用于测量红外辐射能量。非晶硅具有较高的电阻率和较低的热导率，因此能够对红外辐射进行高灵敏度的测量，同时也具有较低的热容和热惯性，使得响应速度更快。

综合来看，氧化钒 MEMS 红外探测器和非晶硅 MEMS 红外探测器各有优劣，并且在不同的应用场景下可能会选择不同的产品。