白光干涉光学轮廓仪性能指标

白光干涉光学轮廓仪的性能指标包括：

1. 分辨率：即轮廓仪能够分辨的最小距离。通常表示为λ/2n，其中λ为白光的波长，n为测量介质的折射率。分辨率越高，轮廓仪能够测量的细节就越小。

2. 测量范围：指轮廓仪能够测量的表面高度范围。通常以微米为单位，可以通过改变轮廓仪的镜头或移动样品台来调整测量范围。

3. 精度：指轮廓仪测量结果与真实值之间的误差。精度取决于多个因素，包括仪器本身的精度、测量环境的稳定性和样品表面的反射率等。

4. 重复性：指轮廓仪多次对同一样品进行测量时，得到的结果之间的差异程度。重复性越好，轮廓仪的测量结果越可靠。

5. 速度：指轮廓仪进行测量所需的时间。速度越快，轮廓仪的效率就越高。

6. 适用范围：指轮廓仪能够测量的样品类型和形状。不同的轮廓仪适用范围不同，有些只能测量平面表面，有些可以测量曲面和不规则形状的样品。