界面处理优化CMN/CT多层薄膜结构与性能

0 下载量 42 浏览量 更新于2024-09-04 收藏 693KB PDF 举报
"这篇论文主要探讨了界面处理对CMN/CT多层异质薄膜结构与性能的影响,由雷琼、周静、沈杰和陈文等人在武汉理工大学材料科学与工程学院的研究成果。通过液相旋涂法制备了CMN/CT薄膜,并使用HNO3和H2O2溶液对异质界面进行处理,以优化薄膜的结构和介电性能。" 文章深入研究了CMN/CT多层异质薄膜,这是一种由Ca(Mg1/3Nb2/3)O3(CMN)和CaTiO3(CT)两种材料交替层叠形成的复合薄膜。这种薄膜因其独特的性质,如高介电常数和良好的电荷迁移特性,在微电子和光电子领域有着广泛的应用潜力。在本研究中,作者采用液相旋涂技术来制备这些薄膜,这是一种经济且可控制的薄膜沉积方法,适用于大面积和复杂形状的基底。 研究的关键在于对CMN/CT薄膜的异质界面进行处理,使用了两种不同的化学试剂——硝酸(HNO3)和过氧化氢(H2O2)溶液。这些试剂的选择旨在改善界面质量,减少界面缺陷,从而提高整体薄膜性能。实验结果显示,这两种界面处理方法都能有效改善薄膜的微观结构,降低表面粗糙度,这对于提高薄膜的介电性能至关重要。 表面粗糙度的降低意味着减少了电荷输运过程中的散射机会,从而可能提升薄膜的电导率和介电响应。而结构的改善可能归因于界面清洁度的提高,这可以增强各层之间的键合,减少晶界和缺陷的数量,进而优化薄膜的电学性能。 论文进一步分析了不同处理方法对介电性能的具体影响,包括介电常数、损耗角正切等关键参数的变化。这些参数是评估电介质材料性能的重要指标,对于设计和优化电子器件的性能具有决定性作用。通过对这些参数的测量和比较,作者能够评估界面处理的效果,为未来开发高性能的CMN/CT多层异质薄膜提供指导。 关键词:“CMN/CT异质薄膜”、“界面处理”、“异质界面”和“介电性能”揭示了研究的核心主题。这项工作不仅对理解多层薄膜材料的界面效应有重要意义,也为材料科学家提供了一种优化薄膜性能的新策略,尤其是在微电子和光电子器件的设计中,界面处理可能成为提升器件性能的关键步骤。