深圳大学微纳光电子研究所推动创新：授权专利与深蚀刻二元光学研究

"授权专利——微纳光电子研究进展"聚焦于深圳大学微纳光电子技术研究所的研究成果。该研究所由徐平教授主导，他们的工作主要集中在微纳光学器件的设计与制造上，特别是凸微透镜阵列、凹微透镜阵列和昆虫复眼等结构的研究。这些器件利用光衍射原理，实现了小型化、可复制和定制化，能够在光电子设备中集成多种功能，如微扫描成像系统中的折/衍混合透镜-消像差技术，有助于提高图像质量。 在硅基光电器件方面，他们发展了CMOS图像传感器，这种技术广泛应用于手机摄像头和数字单反照相机，推动了光学与微电子技术的融合。团队还创新性地开发了一种深蚀刻二元光学技术，突破了传统技术的限制，创造出具有高深宽比、焦距缩短效应、高相对孔径和高能量密度等特点的元件，显著提升了元件性能。 此外，徐平教授团队还研发了二元光学元件制作误差分析的方法，包括解析表达式和模拟软件，以及经验公式，这些工具对于优化元件的制造精度至关重要。他们首次设计并制作出深蚀刻二元光学均匀器，满足微细加工中的精确照明需求，光束均匀性表现出色。 整个研究背景表明，微纳光电子技术是当今全球科研热点，它结合了电子学、光学、材料学和微纳制造技术，对未来信息技术产业具有重大影响。通过这些创新成果，研究团队不仅深化了对二元光学元件的理解，也为其在光学成像、光通信等领域开辟了新的可能，推动了相关产业的发展。"