深圳大学微纳光电子技术研究所：徐平教授的研究进展

"团队成员—实验室主任-微纳光电子研究进展" 徐平博士作为深圳大学微纳光电子技术研究所的主任，他在微纳光电子领域有着深厚的学术积累和丰富的实践经验。微纳光电子学是现代科技的一个重要分支，它结合了电子学、光学、材料科学以及微纳制造技术，对于发展精密光电子器件起着关键作用。在这个领域，徐平教授的研究涵盖了微纳光学器件、硅基光电器件和微纳材料等多个方向。 微纳光学器件是徐平教授研究的重点之一，包括凸微透镜阵列、凹微透镜阵列和昆虫复眼等。这些器件利用光的衍射原理实现微型化，并能设计出具有特定功能的波前形状。例如，微扫描成像系统利用微透镜阵列实现了高速、无像差的平行扫描，而折/衍混合透镜则通过消除像差提高了成像质量。 在硅基光电器件的研究中，徐平团队关注的是CMOS图像传感器、手机摄像头和数字单反照相机等应用。随着微电子技术的发展，硅基光电器件在消费电子产品中的应用越来越广泛，其性能的提升直接影响到设备的成像质量和用户体验。 微纳材料的研究是微纳光电子技术的基础，徐平教授的团队在这一领域进行了深入探索。他们研究了微纳光电子材料的特性，如高深宽比、高能量密度等，并发现深蚀刻二元光学元件具有焦距缩短效应和高相对孔径等优势。这些研究为新材料的设计和微细加工提供了理论依据。 在研究方法上，徐平教授及其团队不仅深入研究了二元光学元件的射效率与制作误差之间的关系，还开创性地提出了4阶二元光学元件衍射效率的解析表达式，开发了二元光学元件制作误差模拟软件，并建立了误差对衍射效率影响的经验公式。此外，他们在国内首次发展了深蚀刻二元光学技术，这在提高光学元件性能的同时，也拓宽了其在微细加工准分子激光曝光照明系统等领域的应用。 徐平教授的微纳光电子研究工作展示了微纳光学在理论创新、技术创新和实际应用上的广阔前景，对于推动我国在该领域的科技进步和产业发展具有重要意义。