李志远等:
二维硅基平板光子晶体器件
图
1
(
a
)带有输入波导空气桥式二维平板光子晶体结构示意图;(
b
)和(
c
)实验测量中所用到的样品全貌图
Fi
g
.1
(
a
)
Schematicofa2Dairbrid
g
ed
p
hotoniccr
y
stalslabstructureswithanin
p
utsiliconwave
g
uide
;
(
b
)
and
(
c
)
theo
p
ticalmicrosco
p
icima
g
eofa
p
ractical
p
hotoniccr
y
stalsam
p
leusedinex
p
eriment
图
2
硅基 平 板 光 子 晶 体 结 构 光 学 性 能 表 征 测 量 装 置。
(
a
)示意图;(
b
)实物 图;(
c
)红外 摄 像 机 记 录 的 样 品
远场散射光图像
Fi
g
.2 Ex
p
erimentalsetu
p
fortheo
p
ticalcharacterization
of infrared 2D silicon
p
hotonic cr
y
stal slab
structures.
(
a
)
Schematic dia
g
ram
; (
b
)
actual
p
icture
;(
c
)
at
yp
icalo
p
ticalmicrosco
p
ic
p
icture
ofsam
p
lerecordedb
y
noctovisor
光子晶体结构的光学特性可以通过透射谱来反
映。在理论上,可 以通 过 上述 的 多种 方 法 来 进 行 计
算,而实验中,建立了如图
2
(
a
)和(
b
)所示的一套系统
来测量
。波长为
1500
~
1640nm
的红外光从可调谐
红外激光器中经过一透镜光纤耦合到样品的硅波导
中,然后入射到光子晶体结构中。另一侧的硅波导收
集通过光子晶体结构的信号光,再通过输出光纤传输
到功率计中。在系统中,还可以利用安置在样品上方
的显微装置,用红外摄像机拍摄从样品上方散射出的
光。图
2
(
c
)显示的是用红外摄像机记录的样品远场
散射光图像。此外,将该显微装置的耦合光纤与样品
中的硅波导进行对准,使得耦合效率达到最大。
4
光子晶体波导与滤波器
4.1
光子晶体波导
在集成光学中,波导是最重要的元件之一,可以
为集成光路中不同器件之间的相互通讯提供有效通
路。而光子晶体波 导 具有 更 低损 耗、更宽 传 播窗 口
等优异性质。通常在光子晶体结构中人为制作一线
缺陷,从而在光子晶体完全带隙中形成一个缺陷态,
于是可以将光限制 在 该缺 陷 中,能够 有效 地 进行 光
传输。在硅基平板 光 子晶 体 结构 中,三角 晶 格空 气
孔光子晶体结 构的 类
TE
模(磁 场 偏 振 方 向 与 平 板
垂直
)具 有 最 宽 的 完 全 带 隙。 图
3
(
a
)显 示 的 是 用
MPB
计算所得的 三 角晶 格 空气 孔 光 子 晶 体 的 能 带
结构。橘黄色区域 显 示的 是 结构 的 带隙,在 这 一区
域中的光是不能够在光子晶体中传播的。假如在光
子晶体结构中移去 一 排小 孔,就会 在 光子 禁 带中 形
成缺陷模[图
3
(
b
)],便可以利用这种缺 陷态来 制作
光子波导。在以前 的 工作 中,通常 单 模或 多 模的 光
子晶体波导是沿着三角晶格光子晶体的
ΓΚ
方向制
作而成,而另外 一个 晶 向的 波 导却 很 少被 提 及。 与
ΓΚ
方向一 样,由于 在
ΓΜ
方向上 同样存 在着 完全
带隙,完全有很大的自 由 度在 这 个方 向 上进 行 缺陷
态的设计。如果去掉一整排菱形区域就可以得到沿
ΓΜ
方向的“串”状 波 导,如 图
4
(
b
)所 示,此 时 形 成
的这种
ΓΜ
波导 称 作原 始
ΓΜ
波导
[
6
]
。此 时,光子
晶体晶格常数
犪
=430nm
,空气孔直径
狉
=120nm
。
利用
MPB
来模拟光子晶体
ΓΜ
波导的能带结
构,如图
5
(
a
)所示。图中灰色 区域显 示的是 缺陷模
区域
,中心点位于
1533nm
,宽度只有
22nm
。相对
应实际测量 所 得 样 品 的 透 射 谱 如 图
5
(
c
)所 示。 缺
陷模的中心 波 长 在
1524nm
,宽 度 为
25nm
。 这 与
09001193